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详细介绍
SSY-10000桌面装载机系统搬运小尺寸晶圆的小型系统，可用于晶圆表面检测，相对现有的手动设备，晶圆自动装卸载系统能够规避人工搬运晶圆的各种风险，维持产品质量的稳定，以及提高设备的生产效率；
SSY-10000桌面装载机系统
- 能够配套有的手动设备使用，小型化的外形尺寸设计以及较低的设备传片高度非常适合于在桌面上的使用
- 配备的Mapping传感器能够获得片盒内的晶圆信息，并通过超薄设计的手指取放片盒内任意位置的晶圆
- 透明的保护盖以及Door Lock装置的使用，可以有效地保证使用者的安全
应用设备实例
半导体生产线，实验室
规格
| 对应片盒 | 3寸晶圆Cassette |
|---|---|
| 对应晶圆 | SEMI规格 3寸硅片 |
| 洁净度 | ISO标准 Class 2（驱动装置内部独立排气的条件下） |
| 外形尺寸 | W380xD500xH420 |
| 重量 | 35Kg |
| 厂务 | 电源：100V 1KVA |
| 真空：优于-70kPa *30 L/min以上的排气能力 |
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