項目 / 型式

SURFCOM  FLEX

-50A

-35B

-40A

-45A

量測範圍

Z方向

±400um

±160um

驱动軸

X方向50mm

X方向 12.5mm

Y方向 4.0mm

分解能

Z方向

0.00016μm/±4μm~0.016μm±400μm

0.0064μm/±160μm/

解析项目

对应规格

JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,DIN-1990,ASME-1995,ASME-2002,CNOMO规格

粗度测量参数

JIS-2001

Ra,Pa,Pq,Pt,Rz,RzJ,Rzmax,Rq,Rp,Rt,R3z,RSm,Pc,AVH,Hmax,Hmin,Pmr,Rmr,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,VO,K

Motive

R,Rx,AR,W,Wx,AW,Wte

评价曲线

断面曲线、粗度曲线、ISO13565特殊粗度曲线、粗度MOTIVE、波纹MOTIVE、包络波纹曲线

特性图表

负荷曲线、振幅分布曲线

滤波

滤波方式

高斯滤波、2RC滤波（位相补偿型）、2RC滤波（位相非补偿形）

截止值

入c: 0.08、0.25、0.8、2.5、8、25mm

入s:0.25、08.、2.5、8、25μm

入c: 0.08、0.25、0.8、2.5mm

入s:2.5、8μm

入c: 0.08、0.25、0.8mm

入s:2.5μm

评价长度

0.1～50mm(0.1mm单位)

0.4～12.5mm(0.1mm单位)

0.4～4.0mm(0.1mm单位)

驱动速度

0.15～1.5mm/s

0.6mm/s

0.3mm/s

操作

动作方式

通用型

标准型 

退避型

横向测量型

感应方式

差动变压

差动电感（变位型）

测量力

0.75mN以下

4mN以下

测针

先端：2μmR、60°圆锥、金钢石

先端：5μmR、90°圆锥、金钢石、Skid式：蓝宝石、32mmR(滑动方向)

其它

电源

内置充电式电源（AC变压器充电）、充电时间：3小时、消费电力：约30VA（充满电可测600次）

外观尺寸、质量

FLEX数据处理器：132（W）*58(D)*214(H)mm,约900g

标准付属品

标准片（E-MC-S24B）,AC变压器，手提带，记录纸（E-CH-S25A），使用说明书

传感器（E-DT-SE19A）

测针（DM43801）

驱动部连接线（E-SC-S517A）

传感器（E-DT-SM10A）

后侧调整器（E-WJ-S64A）

驱动部连接线（E-SC-S518A）

传感器（E-DT-SM39A）

标准片盒（E-WJ-S558A）

V型台（E-WJ-S536A）

驱动部线（E-SC-S519A