LYRA双束聚焦离子束扫描电镜

LYRA双束聚焦离子束扫描电镜的设计适用于各种各样的SEM应用及当今研究和工业的需求。大电子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3维断层扫描等分析应用。借助于高性能软件，TESCAN的FIB-SEM已成为适合电子束/离子束光刻、TEM样品制备等应用的强大工具。LYRA3聚焦离子束扫描电子显微镜配备了XM与GM两种样品室。

现代电子光路

*的大视野光路设计提供各种工作与显示模式

以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同“光阑转换器”

结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™)，可模拟和优化电子束

全自动镜筒设置与对中

成像速度很快

3维电子束技术提供实时立体图像

可选的电子束遮没装置提供了电子束光刻技术

高性能离子光路

高性能CANION FIB设备提供既快又精确的切片与TEM样品制备技术

可选的高分辨率COBRA-FIB离子束设备在成像与铣削过程中依然保持很高的分辨率

聚焦离子束装置

装有两套差异泵的*离子束装置使离子散射效应较更低

马达驱动高重复性光阑转换器

电子束遮没装置与法拉第筒作为标配

同时可以进行离子刻蚀/沉积与SEM成像

FIB的操作软件集成在SEM软件

软件工具栏包括了基本形状与可编程的参数

微/纳米加工

离子束光刻

LYRA双束聚焦离子束扫描电镜维修简单

只需要很短的停机检修时间，就能使得电镜*保持在优化的状态。每个细节设计得非常仔细，使得仪器的效率大化，操作简化。

自动程序

自动设置和许多其他的自动化操作是设备的特点之一。除此之外，电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序，能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言 (Python)可进入操作软件的大多数功能，包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户还可以编程其自己的自动操作程序。

用户界面友好的软件与软件工具

多用户和多语言操作界面

图像管理与报告生成

内置的系统检查与系统诊断

网络操作与远程进入/诊断

模块化的软件结构

标准的软件模块包括：自动离子束控制、电子束写入基本版、同时的FIB/SEM成像、预定义FIB工作模式等软件工具

可选软件包括了：颗粒度分析标准版/专家版、3维表面重建等模块

电子束写入软件使聚焦离子束扫描电子显微镜成为能进行电子束曝光、电子束沉积、电子束刻蚀、离子束沉积、离子束减薄的强大工具

可选的3D Tomography软件提供使用FIB时的全自动连续SEM图像，三维重构与三维可视化