德国20场发射电子显微镜

德国20场发射电子显微镜全部采用新一代镜筒(GEMINI)设计，具有优良的高、低加速电压性能。创新的InLens设计是目前世界上真正的内置镜筒电子束光路上二次电子探测器，具有灵敏度和高的接收效率，而且只接收来自样品表面的二次电子，因此具有业界高等级的分辨率和图像质量。二次电子探测器和背散射电子探测器均内置于镜筒电子束光路上，试样的工作距离不受背散射探测器的影响，可以非常接近极靴，这样可以同时获得高的二次电子像分辨率和背散射电子像分辨率，且接收的背散射电子的能量可以控制。ZEISS的场发射扫描电镜创造性的采用电磁、静电复合式物镜，杂散磁场小，可对铁磁体样品进行高分辨率
产品应用:
扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。
 

德国20场发射电子显微镜技术参数
分 辨 率：   0.8nm@ 15KV   
                       1.6nm @ 1KV          
                       2.0nm @ 30KV(VP mode)
放大倍数：  12 - 1,000,000x
加速电压：   0.02 - 30 KV
探针电流：   4 pA - 20 nA (12pA - 100 nA 可选)
样 品 室：   330 mm (φ) x 270 mm (h)
样 品 台：   5轴优中心全自动
                       X = 130mm
                       Y = 130 mm
                       Z = 50mm
                       T = -3 to 70°
                       R = 360°连续旋转
系统控制：  基于Windows XP 的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制