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详细介绍
光刻洁净实验室
洁净度：百级/千级
用途：光刻间/湿法间配套环境
配套1：磁控溅射洁净室
配套2：循环水机/尾气处理等
光刻洁净实验室
- 产品描述: 半导体设备超净实验室,百级光刻洁净室,千级工艺洁净室,洁净实验室内放置半导体工艺设备,半导体及电子测试与测量设备,有百级光刻间,千级湿法腐蚀间（排风联动）,千级工艺设备间，灰区设置在回风走廊内，准洁净区。
百级光刻洁净室、光刻机、显微镜
千级湿法间、千级湿法腐蚀间、新风排风联动控制、显影-清洗台洁净室、腐蚀台洁净室
千级半导体工艺洁净室、磁控溅射洁净室
千级半导体洁净室、千级工艺洁净室、磁控溅射洁净室
灰区：回风技术夹层、准洁净室、循环水机、空压机、尾气处理准洁净室
灰区：回风技术夹层、准洁净区、工艺气体
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