等离子体刻蚀终点检测仪

等离子体刻蚀终点检测仪仪器简介：
IMP离子蚀刻探针（Ion Milling Probe）,自带差式泵，坚固的二次离子质谱仪，适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子. 
*的专业终点检测（End Point Detection）仪器，用于离子蚀刻控制以及过程质量优化监测.

技术参数：
应用： 
• 终点检测（End Point Detection） 
• 靶的纯度鉴定 
• 质量控制/ SPC. 
• 残余气体分析 
• 泄漏监测 

等离子体刻蚀终点检测仪 主要特点：
特点： 
• 高灵敏度的 SIMS/MS，带脉冲离子计数检测器 
• 三级过滤四极杆，标准配置质量数为300 amu 
• 差式泵歧管，经连接法兰，接到过程室 
• 离子光学器件，带能量分析器和内置离子源 
• Penning规和互锁装置，以提供过压保护 
• 数据系统与过程控制工具整合 
• 稳定性(24h以上，峰高变化小于 ±0.5%) 
• 通过 RS232、RS485或以太网， 软件MASsoft控制 
• 程控DDE, 平行数字式I/O, RS232通讯 

我们的客户多数都是工作在新技术研究的前沿，如等离子体、表面科学。我们与他们保持着密切的、积极的关系。我们的重量法吸附仪是其*技术的*体现，为有关领域的研究者提供了*的技术手段，使其研究水平居于较高地位。