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上海旦顺实业有限公司
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产品介绍
温度可设定半导体光刻工艺百级无尘烘箱
本公司生产的COL-系列无尘烘箱，即使在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100，为CCD（电荷耦合器件）制造过程中烘烤提供洁净环境，预防颗粒沾污
无尘烘箱特点：
1：全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
2 ：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；
3：采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置往前门
（特殊风道设计）方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ（附自动启闭风门）
技术参数：
1. 百级无尘烤箱型号:COL-2
2. 无尘烘箱工作尺寸（mm）:W600×H600×D500
3. 温度范围：RT＋60℃～300℃
4. 无尘烤箱洁净度：100级；
5. 温度均匀性: ±1.5%
6. 波 动 度：±0.5℃
7. 电 源：380V 50Hz 7.5KW；
8. 箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘（PARTICLE）,内室材料：采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢,保温材料：超细玻璃棉；
9. 空气循环装置：大容量轴流电机；
10. 加热方式：不锈钢电加热器；
11. 温度测量传感器：Pt100 铂电阻；
12. 控制仪表：进口数显温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃；
13. 超温保护仪表：独立于工作室主控制的超温保护系统，保证试验品的安全；
14. 控制系统：主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件；
15. 排 气 口：ф50；
16. 隔 板：2层，不锈钢方通，承重约30KG。
无尘烤箱：， 传真:：蒋鑫,
：www.done-e.com.
温度可设定半导体光刻工艺百级无尘烘箱
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