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产品介绍
电子行业超纯水常规制备工艺 |
电子行业超纯水常规制备工艺
1)采用离子交换方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
2)采用反渗透加离子交换方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3)采用反渗透加EDI方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997
级别 | EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ |
电阻率 MΩ·cm(25℃) | 18 (95%时间) 不低于17 | 15 (95%时间) 不低于13 | 12.0 | 0.5 |
全硅 zui大值ug/L | 2 | 10 | 50 | 1000 |
>1um微粒数,zui大值 个/ml | 0.1 | 5 | 10 | 500 |
细菌数,zui大值,个/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
铜,zui大值 ug/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
锌,zui大值 ug/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
镍,zui大值 ug/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
钠,zui大值 ug/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
钾,zui大值 ug/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
氯,zui大值 ug/L | 1 | 1 | 10 | 1000 |
硝酸根,zui大值 ug/L | 1 | 1 | 10 | 500 |
磷酸根,zui大值 ug/L | 1 | 1 | 10 | 500 |
硫酸根,zui大值 ug/L | 1 | 1 | 10 | 500 |
总有机碳,zui大值 ug/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
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:董
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