PLC 工控机 嵌入式系统 人机界面 工业以太网 现场总线 变频器 机器视觉 DCS PAC/PLMC SCADA 工业软件 ICS信息安全 无线通讯 机箱机柜
北京正通远恒科技有限公司
高级型脉冲激光沉积系统:这个脉冲激光沉积系统包括一个自动多目标转盘,带有目标旋转、目标光栅和软件控制的多层和超晶格沉积所需的目标选择。闭环压力控制提供了使用质量流量控制器的精确过程压力控制。干式泵是由机械隔膜泵或涡旋泵支持的涡轮分子泵组合而成。该系统软件(Windows 7, LabView 2013) 控制基材加热器、目标转盘、过程压力、系统泵和激光触发。由于衬底可以转移,可进行多种选择。
产品简介
Pioneer 120 Advanced PLD System 是一个用于制备高质量的外延薄膜独立的系统、多层异质结构和各种材料的超晶格。这个PLD系统和the Pioneer 120 PLD System 的主要区别是衬底加热阶段。先锋120采用导电加热阶段,而Pioneer 120 Advanced PLD System 采用辐射加热阶段。加热器可兼容1大气压(760托)的氧气,这是一特性用于制备外延氧化膜,需要(i)沉积在氧气中,(ii)沉积后退火在氧气中,以及在接近1大气压的氧气中冷却。由于基底不与加热器直接连接,可以连续旋转360度。衬底也可以负载锁定。
这个脉冲激光沉积系统包括一个自动多目标转盘,带有目标旋转、目标光栅和软件控制的多层和超晶格沉积所需的目标选择。闭环压力控制提供了使用质量流量控制器的精确过程压力控制。干式泵是由机械隔膜泵或涡旋泵支持的涡轮分子泵组合而成。该系统软件(Windows 7, LabView 2013) 控制基材加热器、目标转盘、过程压力、系统泵和激光触发。由于衬底可以转移,可进行多种选择。这些包括但不限于将PLD系统与各种其他沉积平台(如超高真空溅踱系统)集成,也与超高真空分析系统(如XPS/ARPES等)集成。
产品特点
独立的交钥匙PLD系统。
外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积。
利用原位RHEED诊断技术沉积纳米级薄膜。
氧化膜沉积的氧相容性。
升级:负载锁定,激光加热器,RF/DC溅射,组合PLD
与超高真空溅踱系统集成。
与XPS /ARPES超高真空集群工具集成。
技术指标
衬底尺寸:10mm x10mm到直径2英寸
沉积室:直径12英寸
基地真空:5 x 10-7 Torr标准;5 x 10-9 Torr,超高真空升级
衬底温度:zui gao 850°C,辐射加热器,氧兼容
多目标传送带:6 × 1英寸或3 × 2英寸
质量流量控制器(s):一个MFC氧气是标准的,更多的MFC是可选的
软件控制:Windows 7, Labview 2013
升级:RHEED, RF-DC溅射/ DC离子源,LAXS, IES,激光加热器
您感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
智能制造网 设计制作,未经允许翻录必究 .
请输入账号
请输入密码
请输验证码
请输入你感兴趣的产品
请简单描述您的需求
请选择省份