电子级高纯水设备

电子级高纯水设备工艺介绍：

   原水→原水箱→增压泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→阻垢剂加药系统/还原剂加药系统→保安过滤器→中间水箱→高压泵1→反渗透装置1→

中间水箱→PH调节装置→高压泵2→反渗透装置2→纯水箱→输送泵→精密过滤器→EDI电除盐系统→EDI高纯水箱→输送泵→抛光混床→TOC去除器→

精密过滤器→用水点

注：本系统采用目前较*的处理工艺，主要有四个部分组成，预处理系统、二级反渗透主机系统、EDI电除盐系统、抛光混床系统；

原水采用自来水通过增压泵增压进入石英砂过滤器、活性炭过滤器，去除水中的悬浮物、胶体、有机物及余氯，配套有絮凝剂加药系统和阻垢剂加药系统，可有效降低水中浑浊度，防止反渗透膜的结垢，提高反渗透膜的使用寿命；

二级反渗透系统采用目前*的美国陶氏反渗透膜技术，自动制膜技术有效保证每支膜的水处理性能。一级反渗透采用BW30-400型号的反渗透膜，该膜具有脱盐率较高、操作压力较小，抗污染性能，膜的脱盐率可以达到99.7%；二级反渗透膜采用BW30-365系列膜，该膜广泛使用二级反渗透系统中，相对于其它膜在二级中具有更好的脱盐效率。二级反渗透出水水质电导率可以达到4微西门子以下；

EDI电除盐系统采用*西门子模块，EDI作为绿色脱盐模式，具有以下优点：占地面积省、运行成本低、系统设计简单、水质稳定、安装维修简便、绿色环保，不需要酸碱再生、可实现连续生产。EDI出水电阻率可以达到15~17兆欧；

抛光混床系统采用上海树脂厂和罗门哈斯合资品牌抛光核级树脂，抛光混床作为制取超纯水的核心部件，经处理后出水可以达到18兆欧以上，满足微电子行业用水要求；

电子级高纯水设备技术参数总表（以15t/h高纯水设备为例）