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详细介绍
UNIPOL-1502自动精密研磨抛光机在研磨过程中两个加工工位可以一定的频率左右摆动，同时推动载物块左右摆动，载物块在进行自转的同时随着研磨盘公转，使样品做无规则运动，使研磨后的样品表面质量均匀。研磨抛光机配备的载物块是具有高的平面度和平行度的精密圆柱状金属块，使研磨后的样品表面也具有高的平面度，并且不会使样品边缘倒角，对边缘要求高的样品尤其适合。UNIPOL-1502自动精密研磨抛光机若配置适当的附件（GPC-100A精密磨抛控制仪），可批量生产高质量的平面磨抛产品。搭配GPC-100A使用尤其适用于直径≤110mm的晶圆样品的研磨与抛光。
主要特点 | 1、超平抛光盘（平面度为每25mm×25mm小于0.0025mm）。 2、超精旋转轴（托盘端跳小于0.012mm）。 3、设有三个加工工位。 4、主轴旋转采用无级调速控制方式，并设有数显表实时显示转数。 5、配有定时器，可准确控制工作时间（0-300h之间）。 6、可选配自动滴料器或循环泵，使磨抛更加方便快捷。 |
技术参数 | 1、电源：110V/220V 2、功率：410W 3、磨抛盘转速：0-125rpm 4、工位：3个 5、支撑臂摆动次数：0-9次/分 6、托盘端跳：0.01mm/332mm 7、磨抛盘：Ø381mm 8、载物盘：Ø110mm |
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