根据废气预热方式及富集方式，催化燃烧工艺流程可分为3种。

(1)预热式。预热式是催化燃烧设备基本的流程形式。有机废气温度在100℃以下，浓度也较低，热量不能自给，因此在进入反应器前需要在预热室加热升温。燃烧净化后气体在热交换器内与未处理废气进行热交换，以回收部分热量。该工艺是通常采用煤气或电加热升温至催化反应所需的起燃温度。

(2)自身热平衡式。当有机废气排出时温度高于起燃温度(在300℃左右)且有机物含量较高，热交换器回收部分净化气体所产生的热量，在正常操作下能够维持热平衡，无需补充热量，通常只需要在催化燃烧反应器中设置电加热器供起燃时使用。

(3)吸附-催化燃烧。当有机废气的流量大、浓度低、温度低，采用催化燃烧需耗大量燃料时，可先采用吸附手段将有机废气吸附于吸附剂上进行浓缩，然后通过热空气吹扫，使有机废气脱附成为高浓度有机废气(可浓缩10倍以上)，再进行催化燃烧。此时，不需要补充热源，就可维持正常运行引。

对于有机废气催化燃烧工艺的选择主要取决于：

(1)燃烧过程的放热量，即废气中可燃物的种类和浓度;

(2)起燃温度，即有机组分的性质及催化剂活性;

(3)热回收率等。当回收热量超过预热所需热量时，可实现自身热平衡运转，无需外界补充热源，这是经济的。