工控摘要：高频发生器又称射频发生器。电感耦合等离子体原子发射光谱/质谱等分析中用来产生等离子体炬的装置。它产生的高频电流输给电感线圈，以激励石英炬管（置于线圈中）内的氩气，形成等离子体焰炬。分自激式和他激式（晶控型）振荡器两种类型。振荡频率在3～50兆赫，常为27.12兆赫和40.68兆赫，输出功率在0.7～7千瓦，常用为1.0～2.0千瓦。
自激式振荡器线路简单，振荡、激励、功率放大都由一个电子管同时完成，易与负载阻抗相匹配，易于点燃等离子体，但频率稳定度稍差。
他激式振荡器由晶体振荡、倍频、激励、功率放大等部分组成，频率稳定性高，但对输出阻抗的匹配要求较严，一般还配备阻抗匹配网络和稳定输出功率的定向耦合器等。
一般要求高频发生器具有稳定的功率输出，对测量系统无电学干扰、功率转换效率高以及频率尽可能稳定等。
