磷硅玻璃清洗机-苏州华林科纳半导体设备技术有限公司

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详细介绍

设备名称	磷硅玻璃清洗机	本设备主要用于对硅片去磷硅玻璃的清洗干燥处理，清洗、干燥在同一台设备上完成。
规格尺寸	长 6000mm	宽 1600mm	高 2500mm
主要材质	壳体：德国进口NPP板，槽体：10mm PVDF 板活动门：透明 PVC
产品特点	1此清洗装置主要由通过式清洗主体、移载机械手、抽风系统、电控系统等部分组成。设备走向统一采用“左进右出”方式。工件由作业员左边人工上料，经清洗后，经作业员右边人工出料。此设备腐蚀清洗干燥装置主要由水平通过式腐蚀清洗主体（槽体部分/管路部分/干燥部分等）,移动机械传送装置,抽风系统,电控及操作台等部分组成。
备注	1.本机配有两个机械臂;机械臂采用平稳控制方式,提篮不会晃动;机械臂的定位精度高; 2.每次只能钩取二个承载器,挂钩与机械手采用螺纹连接,方便调整;提升总量不大于30KG;