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双频激光干涉仪

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更新时间：2022-08-19 17:18:35浏览次数：1376次

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上海贝丁汉工业自动化设备有限公司

经营模式：代理商

商铺产品：9条

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产品简介

定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量等，通过配合使用球杆仪，还能够测量数控机床的回转量，从而实现定位、校准、控制和补偿。

详细介绍

产品名称：双频激光干涉仪

产品型号：ZLM700

产品产地：德国

制造商：德国耶拿尔JENAer公司

详细介绍:

在德国，耶拿地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔（JENAer）公司生产的ZLM700双频激光干涉仪在同类产品中，由于具有*的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理，德国耶拿尔JENAer公司生产的是真正意义上的双频干涉仪，并非单频。

其主要功能包括：定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量等，通过配合使用球杆仪，还能够测量数控机床的回转量，从而实现定位、校准、控制和补偿。

ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量，广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。德国耶拿尔具有以下性能优势：

l 真正意义上的，两个光束的频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“”的区别。*精度更好、性能更稳定。

l 全部部件皆在德国生产制造，绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜，是世界上*一家将*的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。

l 测量系统采用模块化设计，各种测量功能之间互不影响。若用户先期只需要干涉仪的部分功能（如仅测量直线度），则仅采购所需功能部分的光学部件（直线度光学镜），其他不需要的功能暂时可以不采购；若后期有其他功能的需求，补充采购功能对应的部件即可。

l 激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频精度高，一小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。

l 干涉镜采用差分干涉原理，系统精度更高，可达±0.4ppm。

l 计算机辅助光路调整，调整结果更准确。

l 采样频率更快，zui高达1MHz，可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。

l 被测物体zui大速度16m/s（可选）；采用高精度AE950 PCI数据处理器，分辨率达0.6nm（当移动速度为1m/s时，线性分辨率更可高达为0.1nm）。

l 无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。

l 信号延时<200ns；对电磁干扰不敏感。

l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，请选用ZLM800型，zui多可实现六轴联动。

工作原理

型ZLM700激光干涉仪使用氦氖激光器，采用双频外差式工作模式。激光稳频精度为+/-0.002ppm，640MHz的频差用于信号处理。这种高频处理信号能够对高速物体进行测量，不会出现干扰误差，信号延时时间极短。

采用光纤电缆，把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上，避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此，ZLM700特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。

技术参数

型号：ZLM700	使用高性能数据处理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波长：	632.8 nm
激光稳频精度：	一小时2x10^-9（±0.002ppm）寿命内2x10^-8（±0.02ppm）
系统精度（0-40℃时）：	±0.4ppm
光束直径：	6mm （可选3.2mm）
激光管突发zui大输出功率：	1mW （激光等级2）
每束光可测量的轴数：	1
线性测量距离：	40m，可扩展为120m
角度测量范围：	± 15°，20m轴线范围
平面度测量范围：	20m行程
直线度测量范围：	± 5mm，2m或10m行程，选用角度干涉仪可测30m行程
垂直度测量范围：	± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉仪
zui大速度：	4m/s，可选16m/s 80rad/s，角速度
zui大加速：	无限制
zui高采样频率：	内部1MHz，外部40MHz
预热时间：	10分钟
精度/非线性：	±0.3nm （角隅反射镜） ±0.1nm （平面反射镜）
距离测量分辨率：	0.6nm （角隅反射镜） 0.3nm （平面反射镜） 0.1nm 可选
距离测量精度：（20°±0.5°）使用AUK时（20°±0.5°）真空中时	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
线性度测量分辨率：	0.6nm （角隅反射镜） 0.3nm （平面反射镜） 0.1nm 可选
线性度测量精度：（20°±0.5°）使用AUK时（20°±0.5°）真空中时	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度测量精度：	±0.5ppm实测值
角度测量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
角度测量精度：	±0.1ppm实测值
平面度测量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
平面度测量精度：	±0.2%实测值 ±0.05 弧度/米运行距离
直线度测量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
直线度测量精度：	±0.5%实测值，2m行程 ± 2.5%实测值，10m行程
垂直度测量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
垂直度测量精度：	±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒*
数据接口：	积分信号 32 Bit （实时时间） Dt » 20 ns
数据分析标准：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境：	温度：15°C-30°C 湿度：<90%无冷凝
储存环境：	温度：10°C-40°C 湿度：<95%无冷凝

与欧洲某品牌激光干涉仪的参数对比

	耶拿尔干涉仪	欧洲某品牌
	型M700	型号：XX-XX
工作原理:	双频激光干涉原理（外差式, 频差640MHz）	单频零差式激光干涉原理，采用远程干涉测量法
波长:	632.991nm	632.991nm
激光输出功率:	<1mW Class II （可选 Class 3R）	<1mW Class II
1小时内稳频精度:	0.002ppm	0.04ppm
产品寿命内稳频精度:	0.02ppm	0.1ppm/年
寿命:	约20000小时	约8000小时
稳定工艺:	温度稳定法（对两种模式进行比较，外差式）	零差式（1种模式）
激光束直径:	6mm （可选3.2mm）	6mm
每束激光可测量的轴数:	1-6	1
测量范围
距离 :	0...40m，可选120m	0...40m，可选80m
角度:	± 15°，轴线范围20m	± 5° ，轴线范围15m
直线度:	0-2m 或 0-10m	0.1-4m 或 1-30m
垂直度:	0-2m 或 0-10m	0.1-4m 或 1-30m
分辨率
距离（使用角隅反射镜） :	0.6 nm，速度v= 4m/s	1nm，速度v=4m/s
	0.3 nm，速度v= 2m/s
	0.1 nm，速度v= 1m/s
角度:	0.003角秒（0.015µrad）	0.1µrad
直线度（短距离）:	7nm	10nm
垂直度（短距离）:	7nm	10nm
直线度（长距离）:	36nm	100nm
垂直度（长距离）:	36nm	100nm
精度
距离:	+/-0.4ppm	+/-0.5ppm
角度:	+/-0.1ppm	+/-0.6%实测值
直线度（短距离）:	+/-0.5%实测值	+/-0.5%实测值
垂直度（短距离）:	+/-0.5%实测值	+/-0.5%实测值
直线度（长距离）:	+/-2.5%实测值	+/-2.5%实测值
垂直度（长距离）:	+/-2.5%实测值	+/-2.5%实测值
光学镜（直线度用）:	差分干涉镜	无（仅使用一个Wollaston棱镜）
系统的线性度:	非常好（这是因为使用了差分干涉镜）	不明（取决于Wollaston棱镜质量）
可测量到的偏差范围
直线度:	+/- 5mm	+/-2.5mm
垂直度:	+/- 5mm	+/-2.5mm
辅助调节:	计算机辅助调节	小孔
接口:	PCI	USB
	cPCI （PXI）
	USB
	AquadB （积分信号）
	32bit实时
采样速度:	0.001Hz - 1MHz （可调）	50 kHz