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配压电探头:加速度:0.3、1、3、10、30、100、300、1000m/s2
速度: 3、10、30、100、300、1000mm/s
位移: 1、3、10、30、100、300、1000mm(HPF1Hz)
位移: 0.3、1、3、10、30、100、300、1000mm(HPF 3Hz)
位移: 0.03、0.1、0.3、1、3、10、30、100、 300、1000mm(HPF 10Hz以上)
配伺服探头:加速度:10、30、100、300、1000m/s2
速度: 1、3、10、30、100mm/s
位移: 0.1、0.3、1、3、10mm
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