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等离子清洗机又称等离子表面处理设备,Tergeo-EM等离子清洗机集于SEM/TEM样品/样品杆表面清洗、抛光、处理与一体,操作简单,具有浸泡式等离子清洗、远程式等离子清洗两种模式。
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实时监测等离子体强度 |
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Tergeo内置的等离子浓度传感器,实时显示等离子浓度。用户可根据等离子浓度来调节气体流速及射频能量。可根据样品来设定差异化的参数,满足多种样品的清洗需求 |
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