多晶硅还原炉钟罩清洗系统

多晶硅还原炉钟罩自动清洗烘干系统 Bell jar cleaning system

　　■适用范围

　　西门子法多晶硅还原炉钟罩（炉筒）内壁的全自动清洗和烘干。

　　■工作原理

　　以高压水射流为动力,以水力自驱动三维洗罐器为喷头，形成360°的网状喷射表面，完成钟罩内部表面的水力扫射，用清洗剂等为主要清洗液，用纯水（去离子水或叫脱盐水）漂洗，用高纯水冲洗，完成清洗过程。

　　用经过三级净化（10万级）的纯净空气，梯级加热，zui终保证烘干完的钟罩不再结露，可直接进入生产作业。

　　■系统特点

        1)技术能力强，设计合理，根据客户需求，总结借鉴国内外还原炉钟罩及其它罐类清洗烘干经验，充分发挥高压水清洗和吸除尘的技术优势，设计出本套系统，实现了还原炉钟罩的全自动清洗和烘干操作。可根据使用方不同还原炉钟罩、车间厂房的情况，能源条件不同，提供个性化设计。

        2)设备性能可靠，核心部件、元件和附件*。

        3)自动化程度高：PLC+触摸屏柔性自动控制系统，实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干同时具有半自动或手动功能。

        4)适应范围广：可以在一套系统实现多种型号还原炉钟罩的清洗烘干。

        5)节能、环保、安全：提供了预热（余热蒸汽、余热水或油）加热清洗水及干燥空气的方案。全密闭式清洗烘干系统，基本消除了对现场及操作人员的污染。

        6)德高洁(www.digcher。。ｃｏｍ)集团在北京、上海、深圳、成都、西安、武汉均设有分公司及办事处。服务体系网络健全，零配件充足。

　　■工作流程

　　还原炉钟罩到位—预清洗—清洗剂（碱液）清洗—漂洗—高纯水冲洗—净化热空气干燥—常温干燥—钟罩吊走。

　　注：清洗剂的选择对清洗效果和作业安全有直接影响，这方面我公司积累了丰富的实践经验解决闪爆等问题。

　　■基础条件

　　1)电源：380V/50Hz，30KW，电缆引至控制柜。

　　2)蒸汽：压力0.175-0.9Mpa（G），到接口点。

　　3)压缩空气：不小于流量3NM3/h，压力0.6-0.75Mpa（G）（气动阀、气缸用气）, 接口点。

　　4)脱盐水：可提供条件，不小于100L/min，到接口点。

　　5)纯水：不小于 100L/min，到接点。

　　6)清洗剂：NaOH清洗液等，不小于2立方米。

　　7)占地面积：36-80平方米（宽约6-7米，长6-12米

　　8)三废处理：洗涤后的含酸或碱液废水、废渣，排放到需方处，由需方自行处理，配排污水（池、槽）沟；清洗和烘干产生的废气做室外排空排放。

　　■设备组成

　　1)高压热水清洗动力装置1套

由高压热水清洗机及附件（1套），高压水自驱动三维洗罐器（1套），三维洗罐器升降装置（气动，1套）组成。

　　2)热风净化烘干机组1套

进风净化等级：10万级。

　　3)清洗烘干工作台及管道1套

　　4)电气控制系统1套。

采用PLC+触摸屏全自动控制，全套德高洁版控制软件。

　　注：水和风的加热方式：电加热，蒸汽、余热水或油的热交换器换热。