无接触少子寿命扫描仪

无接触少子寿命扫描仪-产品特点

■ 无接触和无损伤测量
■ 自动测量，具有传送系统，可进行连续测量
■ 快速测量，测试扫描速度达到2000mm/min
■ 测试范围广：包括硅块、硅棒、硅片等少子寿命测量
■ 主要应用于硅棒硅块、硅片的进厂、出厂检查，生产工艺过程中重金属沾污和缺陷的监控等 
■ 性价比高，*程度地降低了企业的测试成本


无接触少子寿命扫描仪-*工作条件

■ 温度：18-26℃
■ 湿度：10%~80%
■ 大气压：750±30毫米汞柱






-技术指标

■ 少子寿命测试范围:0.5μs-300μs
■ 测试扫描速度:2000mm/min
■ 测试尺寸:215mm*215mm*400mm
■ 电阻率范围：
P型：0.8Ω.cm-100Ω.cm（范围之外可测量，但将有一定测试偏差）
N型：0.5Ω.cm-100Ω.cm（范围之外可测量，但将有一定测试偏差）
■ 激光波长：980±30nm,测试功率范围：50-500mw
■ 硅棒硅块扫描间距：≥1mm
■ 仪器测试精度：±3.5％，信号处理偏差≤2％
■ 工作频率：10GHz±0.5
■ 微波测试单元功率：0.01W±10%
■ 电源：～220V 50Hz 功耗＜200W
■ 主机尺寸：365mm * 645mm *565mm
■ 主机重量：30KG