机械手采用耐高温手指有隔热设计,可用于放置高温托盘,短时间耐高温300℃以上。指部、腕部灵巧的设计理念降低了接触面的表面粗糙度,加大热阻。同时具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。具有更灵敏的碰撞保护功能,有效保护机械手和客户晶圆。全新的轨迹规划,提高运动节拍,提高了用户产能。在半导体前道设备中广泛应用,推动了国内半导体产业链的进步,有效的支撑了国内设备商的发展。
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