直驱电机结构具有更高的真空特性，内部结构没有齿轮，皮带等部件，系统运行的平稳性更好，可靠性更高。全新的IO模块，具有更多的输出输入引脚，用户可以根据需求配置成互锁，传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能，减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器，方便调试人员使用，并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求，耐高温耐腐蚀特性等。
参数：
本体重量 | 23.5KG |
手臂型式 | Single SCARA |
适用晶圆尺寸 | 200mm/150mm/125mm/100mm |
负载 | ＜500g |
轴数 | 1 |
电源输入 | AC电压:AC208V AC频率：50HZ/60HZ |
电源范围 电压波动范围 | 单相交流208V +10%，-15% |
节拍 | R axis＜＜3s（Home to Extend 502.5mm） |
重复定位精度 | R: ±0.05mm（3σ） |
漏率 | < 1 x 10-9 std. cc/sec He |
真空度 | 5X10-9Torr |
行程 | 530mm |
洁净度 | ISO CLASS1 |
MCBF | >11million cycles |
复合运动 | 支持 |
PC远程操作软件 | 支持 |
通信接口 | Ethernet/串口 |
IO互锁 | 支持 |
安全区 | 支持 |
碰撞保护 | 支持 |
认证 | SEMI S2 /SEMI F47/CE |
智能制造网