advantages
产品优势
安全稳定可靠
具有性能安全稳定可靠，运行平稳性好等特点多种优势
具有高刚性、高速度、高精度等优势性价比
适用于洁净领域，轻量级设计使其与产线融于一体，作业空间利用率高技术
其控制技术，动作灵活轻巧快捷，操作持久耐用多种优良特性
满足各类柔性化集成和生产等优良特性于一体
Application areas
产品应用领域
半导体晶圆搬运
parameter
产品参数
-
晶圆尺寸
φ200、φ300mm
-
负载重量
≤0.5Kg
-
R轴重复定位精度
±0.05mm
-
θ轴重复定位精度
±0.006°
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Z轴重复定位精度
±0.05mm
-
R轴行程
≤1015mm
-
T轴行程
360°
-
Z轴行程
90mm/135mm
-
真空度
＜1×10-7 Torr
-
漏率
＜1×10-9 std.cc/sec He
-
整机重量
55kg
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