半导体检测显微镜

奥林巴斯半导体检测显微镜 MX61L/MX61系统（无限远校正光学系统）

12V100W卤素灯泡（预定心型） 明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜组（选配） ，转换使用内置电动孔径光阑（每个物镜可预设，物镜转换时自动转换，暗视场观测时自动打开）

超宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的标准配置）

奥林巴斯MX61显微镜，①反射光明视场法；②反射光暗视场法；③反射光诺曼尔斯基微分干涉衬比法；④反射光简单偏振法；⑤反射光荧光法；⑥反射光照明法（IR）⑦透射光明视场法；⑧透射光简单偏振法③/④/⑤需要专门的分光镜组。⑦/⑧需要与透射光照明部件配合使用。

奥林巴斯半导体检测显微镜 MX61L/MX61 为用户提供高效率。

MX61适用于大200mm的样本，而MX61L则可适用于大300mm的样本。

1、大型载物台搭载：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圆全面检查(MX61L)。

2、采用高NA的透射光聚光镜，图象更锐利。

3、多种观察方式，多种照明方式，多种附件以满足不同应用要求。

4、透射和反射照明可同时使用，*提高液晶基板观察效果。