工业测量显微镜

通过整合光学显微镜的测量能力实现精确测量

多年的显微镜开发经验成就了优异的观察性能
奥林巴斯STM7工具测量显微镜系列采用了当前*光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此，观察到的图像具有高分辨率和高对比度，此外，像差也被*消除，以确保实现对微小细节的高精度测量。

作为高度测量的先锋，继续提供简单易操作的高精度3轴测量

严格的可追溯系统确保品质可靠
奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜的***度。并且在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。

测量显微镜跟踪系统
STM7测量显微镜设计注重易用性
提供载物台以适合眼下的样本大小
 

[常见问题] 
短测量行程无法满足较大样品的测量需求。
目前为止，大型载物台在X轴方向提供了足够的测量行程，但是Y轴的行程仍然较小。在测量过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴覆盖范围要短的Y轴行程，这样的做法费事费时，效率不高。
由于可测量的范围窄，无法将数量较多的样品排列在载物台上，以实现一次性同时测量。
 

[STM7解决方案]
共有四种*的正方形测量行程的载物台可供选用，分别为：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm和300 mm×300 mm。不管是大的样品还是小的样品，总有一款载物台会适合您要测量的样品。
Ÿ 采用离合器系统可以在粗调和微调之间实现快速切换。具备了这种切换功能之后，载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动，并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以提供相同的测量行程，这意味着可以不旋转样品就实现大型样品的全部测量，比如300 mm的晶圆和印刷电路板。更多详细内容请咨询上海富莱光学、奥巴仪器。

使用相同的显微镜进行低倍率和高倍率观察
[常见问题]
大部分传统的测量显微镜只可以测量物镜或金相物镜，无法同时满足多种观察要求。
[STM7解决方案]
奥林巴斯STM7工具测量显微镜可以通过安装一个测量物镜适配器使用测量物镜，而更换为物镜转盘后，便可使用金相物镜。这意味着， STM7将金相光学系统和测量光学系统同时结合在一台测量显微镜中。通过这种方式，无论是测量大型样品还是精细样品，或是表面高度差异大的样品，STM7系列都可以对应并协助用户选择*的观察方法。
 

工业测量显微镜测量物镜
由于测量物镜具有非常长的工作距离，因此可以在对表面起伏较大的样品进行聚焦的时候，无需担心物镜与样品之间发生接触。此外，借助测量物镜的低倍率能力，可以一次观察到较大的视场。

金相物镜
可以得到和光学显微镜相媲美的高倍率和高分辨率观察能力。更重要的是，在明场观察之外还可以对应暗场，偏光和微分干涉观察。

奥林巴斯Olympus STM7工业测量显微镜规格

*1 使用大型镜架STM7-LF/STM7-LFA时，可以将高度为100 mm或以下的样品放置在光轴后方180 mm或以上距离的地方。

物镜工作距离