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详细介绍
SU3500钨灯丝扫描电镜具有实现了“3 kV加速电压7 nm分辨率”的全新电子光学系统, 可实现实时立体成像的“实时立体观察功能”＊1、以及更高检测效率的 “UVD超高灵敏度可变压力检测器”＊1它为观察和分析提出了崭新的标准。
*1：
自选
特点
- 低加速电压观察时分辨率更高，可更好地观察样品表面的细微形状和更有效地降低样品的损坏
- 全新设计的电子光学系统和信号处理技术实现了高速扫描和低噪音的观察
- 和以前的常规扫描电子显微镜相比＊2自动功能缩短＊3了大约11秒
- 具有在低真空时可以非常好地观察样品表面的细微形状的“UVD(超高灵敏度可变压力探测器)”＊4
- 具有实现了实时立体成像的“实时立体观察功能”＊4
*2：
和日立SEM S-3400N相比
*3：
根据观察条件的不同，时间会有变动
*4：
自选
扫描电子显微镜规格
项目 | 描述 | |
二次电子分辨率 | 3.0 nm(加速电压=30 kV，WD=5 mm高真空模式) | |
背散射电子分辨率 | 4.0 nm(加速电压=30 kV，WD=5 mm低真空模式) | |
放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率＊5） | |
加速电压 | 0.3～30kV | |
可变压力范围 | 6～650Pa | |
大样品尺寸 | 直径 200 mm | |
样品台 | X | 0～100mm |
Y | 0～50mm | |
Z | 5～65mm | |
R | 360° | |
T | -20～90° | |
可观察区域 | 直径 130 mm(旋转并用) | |
大样品高度 | 80mm（WD＝10mm） | |
马达台 | 5轴标配 | |
电子光学系统 | 电子枪 | 预对中的钨灯丝 |
物镜光阑 | 4孔可动光阑 | |
探检测器 | 埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器 | |
EDX分析 WD | 10 mm(取出角35°) | |
图像显示 | 操作系统 | Windows®7(有更改，恕不另行通知) |
图像显示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) | |
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