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超洁净机械手

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更新时间：2023-02-20 11:26:10浏览次数：566次

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半导体超洁净真空机械手

机械手

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芯导精密（北京）设备有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：2条

所在地区：北京北京市

联系人：赵先生（市场部销售总监）

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产品简介

多轴超洁净	真空多轴机械手

全自主开发集成电路装备领域产品：

u硅片自动化传输装备（Sorter）：自主开发、客户定制化 u设备机械前端（EFEM）：自主开发、客户定制化 u机械手（Robot）：自主开发、大气&真空 u对准器（Aligner）：自主开发 u载盒台（Load Port）：自主开发 u核心传感模块（E84/Senor）：自主开发 u整机装备控制系统软件（OS）：自主开发 u天车系统

详细介绍

全自主开发集成电路装备领域产品：

u硅片自动化传输装备（Sorter）：自主开发、客户定制化

u设备机械前端（EFEM）：自主开发、客户定制化

u机械手（Robot）：自主开发、大气&真空

u对准器（Aligner）：自主开发

u载盒台（Load Port）：自主开发

u核心传感模块（E84/Senor）：自主开发

u整机装备控制系统软件（OS）：自主开发

u天车系统（OHT）：自主开发、聚焦8英寸产线

可根据用户使用需求，进行定制化研发制造。

lwanquan自主化的多自由度关节机械手