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成都沃特塞恩电子技术有限公司
频率 | 2450MHz | 功率 | 100W-3000W |
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沃特塞恩提供的固态微波远程等离子体源系统【RPS】引进了德国等离子体技术,主要由AC-DC电源、3kW固态微波源、远程等离子腔、微波传输波导及隔离器组成。
沃特塞恩提供的固态微波远程等离子体源系统【RPS】引进了德国的等离子体技术,主要由AC-DC电源、3kW固态微波源、远程等离子腔、微波传输波导及隔离器组成。
因固态微波远程等离子体源【RPS】的特殊结构,等离子体在反应区之外的等离子体放电腔中被激发,在保证高电离率与低重组率的同时,为用户提供高浓度、低温度、更均匀的活性自由基。有效的降低了电子、离子等高能活性离子对材料表面的轰击损伤,活性自由基对样品的作用占主导地位,有效控制反应均匀性,减少污染,是干法处理半导体材料的更优秀的方案。
> 采用全新的固态微波源,频率、功率稳定性高,使用寿命长,无需更换磁控管耗材
> 等离子体放电腔材质可选,可适用各种气体
> 体积小、集成度高、便于更换
> 放电腔设计,负载匹配度高,反射功率小,低于1%
> 系统运行气压适应范围广
> 电离率高、电离速度快
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