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中科院微电子研究所KWD大型台式匀胶机/旋涂仪200-600mm2
KWD中科院微电子研究所KWD大型台式匀胶机/旋涂仪200-600mm2
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访问次数：93更新时间：2023-12-01 21:41:56

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产品简介
中科院微电子研究所KWD大型台式匀胶机/旋涂仪200-600mm2
产品介绍

        中科院微电子研究所KWD大型台式匀胶机/旋涂仪200-600mm

       > 参数：手动旋钮控制 
        > 基片尺寸φ200-φ600mm圆片、500x500mm2方片 
        > 转速：200-2000转/分 
        > 显示转速稳定度：±1，胶的均匀性±5% 
        > 匀胶阶段：2段 
        > 匀胶时间：3-60s可调 
        > 电机功率：320W 
        > 仪器尺寸：980mmx855mmx855mm 
        > 适用材料：硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料

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