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数字式系列质量流量控制器可通过定制化的高速比列调节阀精确测量与控制过程气体的质量流量体积流量及压力，还可同时测量并显示气体温度。
特点
标准精度0.8%RD+0.2%F.S 高精度0.4%RD+0.2%F.S
有效控制范围0.5-99% 内置90至130条气体曲线可选
响应速度100ms 多种数字信号可选
基本参数
| 产品性能 | 质量流量控制器 |
| 流量范围 | 0.5sccm-5000slpm |
| 精度(调零后标准条件下) | ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) |
| 高精度选配(调零后标准条件下) | ± (0.4%Rdg + 0.2%F.S) 高精度(选配)仅适用于量程为 5SCCM ~ 500SLPM 的设备 |
| 标定气体 | 内置90条气体可选择 |
| 重复性 | ± 0.2% F.S |
| 零点漂移&满量程漂移 | 0.02% F.S / ºC / Atm |
| 工作压力 | 10bar |
| 可控流量 | 102.4% F.S |
| 典型响应时间 | 100 毫秒(可调整) |
| 启动预热时间 | < 1 秒 |
| 工作温度 | −10 ~ +50 ºC |
| 工作湿度范围 (非冷凝) | 0 ～ 99% |
| 内部工作压力(静压) | 145 psig |
| 极限压力 | 175 psig |
| 对安装方式/方向的要求 | 任意 |
| 阀门状态 | 阀门常闭 |
| 通讯 / 电源 | 质量流量控制器 |
| 单色/彩色 LCD 显示屏 | 同时显示质量流量、体积流量、压力和温度 |
| 数字信号 | 标准RS-232 选配RS-485,MODBUS-RTU,PROFIBUS,DeviceNet以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
| 模拟信号 | 标准0-5V 1-5V-0-10V 选配4-20mA |
| 电信号接口 | 标准圆形8针 选配圆形6芯 DB9针 DB15针 |
| 供电电压 | +24VDC |
| 消耗电流 | 20SLM以为 250mA 50SLM以为750mA 5000SLPM消耗2000mA电流 |
| 流量 | 压损(spig)排放大气中 | 接口 |
| 0.5-50SCCM | 1.0 | 1/8NPT母螺纹 |
| 100-500SCCM | 1.0 | |
| 1SLM | 1.5 | |
| 2SLM | 3.0 | |
| 5SLM | 2.0 | |
| 10SLM | 5.5 | |
| 20SLM | 20.0 | |
| 50SLM | 2.0 | 1/4NPT母螺纹 |
| 100SLM | 3.2 | |
| 250SLM | 2.4 | 1/2NPT母螺纹 |
| 500SLM | 6.5 | 3/4NPT母螺纹 |
| 1000SLM | 14.0 | |
| 1500SLM | 17.0 | |
| 2000SLM | 28.6 | |
| 3000SLM | 16.8 | 1-1/4NPT母螺纹 |
| 5000SLM | 14.1 | 2NPT母螺纹 |
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