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高压分析仪 HPA 220在压力范围高达 50 hPa 下的气体分析
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访问次数:169更新时间:2022-04-11 15:56:35

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产品简介
高压分析仪 HPA 220 是一个模块化、灵活实用的质谱仪系统,它带有一个干式涡轮分子泵组,可用于在压力高达 50 hPa 的真空中进行气体分析。根据 HPA 220 的用途,有五种不同电动气动以及手动操作的进气口阀可供选择。
产品介绍

产品优势


由于其 5 种手动、电动气动操作的进气口选择,使得它在压力高达 50 hPa 压下为分析、监测和控制过程提供了很大的灵活性

通过各种数字和模拟输入和输出,使系统集成方便而灵活

多重操作允许多个质谱仪 系统只用一台电脑进行数据评估

紧凑的尺寸实现灵活的集成




典型应用


在 1 · 10-7 至 50 hPa 的压力范围内进行真空工艺的分析、监测和控制

真空镀膜系统的制造商和操作员

半导体生产

光刻

冶金

真空炉

研发





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