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无锡爱拓利电子科技有限公司
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MFM330气体质量流量计
产品特性：
◆无可移动部件
◆支持多种通讯协议
◆容易安装及维护
◆高精度、高稳定性、非常低的零漂
◆可测多种气体
◆一体液晶显示和按键操作
◆内置温度和压力传感器
◆同时显示气体瞬时流量和累积流量
应用领域：
——分析仪器 ——生物技术
——激光焊机 ——真空镀膜
——干刻（RIE/DRIE） ——气相色谱分析
——过程自动化 ——燃料电池
技术参数：
流量规格： 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM
0~1、2、5、10、20、30、50SLPM
准确度： ±0.5%F.S.
重复精度： ±0.2%F.S.
流量控制范围： 0.5%~99%F.S.
使用温度： -20~65℃
使用湿度：0~98%（无凝露）
耐压： 3Mpa
响应时间：<100mS
供电电压：15~40VDC
功率：<1.2W
通讯方式：RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA
气路部件材质：SUS304/SUS316L
密封件材质：氟橡胶
气路接头：快拧、快插、卡套、VCR
产品尺寸：
外接显示器尺寸：
电气连接:DB9
| Pin No. | CAN 版 | RS232 版 | RS485 版 | 0~5VDC 版 | 4~20mA 版 |
| 1 | VCC | VCC | VCC | VCC | VCC |
| 2 | RX | Set | Iin+ | ||
| 3 | TX | Monitor | Iin- | ||
| 4 | Alarm | Alarm | Alarm | Alarm | Alarm |
| 5 | GND | GND | GND | GND | GND |
| 6 | |||||
| 7 | CANH | A | Iout+ | ||
| 8 | CANL | B | Iout- | ||
| 9 | DGND | DGND | DGND | DGND | DGND |
产品选型：
例:MFC330_ RS485_300sccm _ 6mm快拧 _ S
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