本装置系统自高温炉后出口阀门起（无油真空泵开启点由高温炉控制启停）：

A，回收气自干式真空泵后开始，接双联脉冲过滤器后在氧分仪监控下选择放空或启动回收气收集。

B，增压系统工作：真空泵后排放气体经氧分析仪监控后选择运行动作，启动回收程序，开启气动阀进入压缩机前缓冲罐，在压力传感器作用下全自动运行，完成系统管道吹扫，在设定数据范围内自动运行，经初级过滤粉尘、精密二级过滤，冷却干燥脱水，除氧剂除氧、干燥纯化设备深层吸附去除氩气中的微量氧、水份及气体微量杂质，得到相对纯度*的氩气，最后经贵金属精密过滤器送至工作点使用。

     回收气中氧含量小于200ppm，含有微量一氧化碳和碳氢化合物，或带有高温下产生有机化合物等，含有3um以下颗粒物，

回收要求：回收后配纯化设备除去氩气中氧，一氧化碳，二氧化碳，碳氢化合物，有机气体等杂质，配双联脉冲过滤器过滤颗粒并收集。

回收装置组成：

1，从源头上控制：在真空泵后配置双联脉冲过滤器过滤颗粒物并收集，使其进回收系统气体的颗粒物残留小于0.1um，减少或杜绝在系统运行中造成堵塞风险。

2，回收源头设微量氧分析仪，监测回收气源中氧含量，按自编程序(含氧量0-1000ppm可选)运行，放空或回收（放空阀门开启后有声光报警）。

3，回收纯化设备：采用多级纯化方式，分段处理，层层分离，使其限度地满足高纯气需求。

4，回收系统和纯化设备以整体撬装机柜式提供，以一套自动控制系统集成控制，整体系统合成在一套移动式机柜内，真空泵电源开关由高温炉控制。整体设备有联锁互锁功能，杜绝误操作，数据输出端有485接口，联机可完成数据远传，远程控制。供方提供总控制面板一块，可镶嵌至总控制台完成整套设备的所以控制。

6，整体回收设备以封闭式机柜提供，外观电脑灰烤漆，移动式脚轮设计（外加固定承压支柱），外观电脑灰烤漆, 独立操纵面，美观协调，整体占地面积约2m（宽）x2（深）x2m（高）（具体尺寸以实物为准）