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薄膜测厚仪

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地合肥市

更新时间:2022-08-01 16:26:39浏览次数:152次

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经营模式:其他

商铺产品:43条

所在地区:安徽合肥市

联系人:江先生

产品简介

产品名称:膜厚仪主要技术指标:测量范围(VIS):15nm—100μm测量重复性(RMS):0.086nm测量精度(与椭偏仪对比):0.25nm测量层数:大于3层使用光源:卤素灯

详细介绍

产品名称:膜厚仪


主要技术指标:


   测量范围(VIS):15nm—100μm
测量重复性(RMS):0.086nm
   测量精度(与椭偏仪对比):0.25nm
   测量层数:大于3层
   使用光源:卤素灯;
入射角度:90°
   测试材料:透明或半透明薄膜材料;
   光斑尺寸:20μm—3mm(可选)
   测量时间:100ms—4ms;
   通信接口:USB2.0

产品特点:

采用光谱干涉原理进行测量,具有非接触、无破坏、快速等特点;
可在真空环境使用;可与大行程工件台配合,实现大面积膜厚自动测量。


   厚膜图1

测试数据:


   厚膜图2

设备组成:

测试主机、光纤、校正件、测量头、夹持装置、设备箱、手提电脑。


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