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上海仪准电子科技有限公司
● Failure analysis 集成电路失效分析 ● Wafer level reliability 晶圆可靠性认证● Device characterization 元器件特性量测 ● Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析)● IC Process monitoring 制程监控 ● Package part probin......
项 目 | 性能指标 | 备注 | |
可测圆片尺寸 | 4 inch & 4 inch以下 |
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X、Y工作台 | 行程 | X/Y:4 inch x 4 inch |
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分辨率 | 1μm |
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控制 | 进口导轨 |
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CHUCK | 平面度 | ≤10μm | 背面需要加电极(可选) |
晶圆固定方式 | 真空吸附 | ||
Chuck Z轴(可选) | 行程 | 10mm |
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分辨率 | 1μm |
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Chuck θ轴(可选) | 微调范围 | ±7 º (分辨率为0.1°) |
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Platen 平台 | 材料 | 非抛光型不锈钢+特种铝合金 |
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容量 | 4个DC针座或者2个RF针座 |
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上、下片 | 方式 | 手动 |
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行程 | 90 mm |
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显微镜 | 配置 | 体式显微镜: 目镜:20X 变倍范围:0.75X-5X 总放大倍数:15x-100x LED 光源照明 | 根据客户测试参数要求而定 |
屏蔽罩(可选) | L800*W600*H1100mm |
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防震桌(可选) | W*D*H:1100*800*900mm |
● 射频测试探头及电缆 ● 有源探头 ● 低电流/电容模块 ● 高压模块 ● 高清数字相机 ● 探针卡/封装/PCB板夹具 ● Hot Chuck
● 各种型号示波器 ● 各种品牌型号的源表 ● 是德B1500、4155、4156 ● 泰克4200 ●各品牌的网络分析仪
1 | 环境温度:18-28°C | ||||||||
2 | 相关湿度:20%-60% | ||||||||
3 | 现场要求:水平地板且足够承受设备重量 较小的机械震动 通风良好且无阳光直射 靠近电源设备 切勿靠近易爆、有毒气体 |
4 | 电源 | 系统: 无 | |||
配件: • 220V 交流额定值,50Hz • 真空泵:220V/50HZ, 14W, 0.16A • 空压机:220V/50HZ,额定电流2.8A,输出功率580W • CCD:输入220V/50HZ,额定电流0.31A;输出12V/1.0A • 显微镜光源:220V, 50HZ | |||||
5 | 压缩空气 | 空气要求 | 气压 | 流量 | 连接器外径 |
洁净、干燥、无油(防震台用) | 0.4-0.6 MPa (58-87 psi) | / | 6mm | ||
6 | 真空 | / | <400mbar absolute,-610mbar gage | 5 l/min(0.18 CFM)at SATP | 6mm |
7 | 外形尺寸 | 物理尺寸(WxDxH) | 探针台:450mm宽*320mm长*458mm高/450mm宽*320mm长*550mm高(含显微镜) | ||||||
屏蔽箱:800mm长*600mm宽*1100mm高 | |||||||||
防震桌:1200mm长*800mm宽*800mm高 | |||||||||
货运尺寸(WxDxH) | 探针台及配件货箱:980 x 840 x 900mm | ||||||||
屏蔽箱货箱:950 x 750 x 1150mm | |||||||||
防震桌货箱:1200 x 810 x 720mm | |||||||||
8 | 重量 | 探针台重量 | 35 kg | ||||||
货运重量(带包装) | 探针台及配件货箱:85 kg | ||||||||
屏蔽罩(带防震台):150 kg |
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