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ECLIPSE L300N/L300ND

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更新时间：2023-02-21 12:06:28浏览次数：318次

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南京诺旭微光电有限公司

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产品简介

FPD/LSI检查显微镜ECLIPSEL300N反射专用型ECLIPSEL300ND透反射两用型集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统，在亮度、对比度和可操作性能方面都达到的高度，适合于大直径硅片或大型液晶板的高级检查

详细介绍

FPD/LSI检查显微镜
ECLIPSE L300N 反射专用型
ECLIPSE L300ND 透反射两用型

集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统，在亮度、对比度和可操作性能方面都达到的高度，适合于大直径硅片或大型液晶板的高级检查。
观察样品:Ø300 mm晶片
观察倍率15X～3000X（视目镜和物镜的组合而定）；
使用CFI60光学系统，消除耀斑影响，对比度更高，成象更加清晰、明亮；
物镜齐焦距为60mm，可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求；
主机刚性高，具有很好的抗振性能，具有防尘、防污染、防静电功能；
光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面，使用方便，即使长期操作也不易产生疲劳；

规格
	ECLIPSE L300N	ECLIPSE L300ND
	(落射照明型）	（透射/落射照明型）
主机	内置12V-50W卤素灯光源；内置用于电动控制器的电源
	用于物镜转换器的电动控制器、卤素灯亮度控制、
	光圈叶片控制器
	物镜转换器：具备物镜转换器
	对中功能的电动通用六座物镜转换器
	—	反射/透射切换器
调焦部分	对焦部:行程29mm
	粗调:12.7mm/转(可扭距调节.带重新对焦机能)
	微调:0.1mm/转(以um为单位)
反射照明部	12V50W高亮度卤素灯照明装置
	孔径光阑（电动.可调心)、视场光阑（固定.带对焦目标)
	可插入小孔光阑滑块(OPTION)
	可插入∮25mm滤光片(NCB、ND2、ND4）、起偏器/检偏器
	观察方法：明场、暗场、简易偏光、微分干涉、反射荧光
	（仅用于L300N/L300ND/L200ND）
透射照明部	—	12W50W高亮度卤素灯照明装置
		内置孔径光阑
		内置LWD聚光器
接口	USBx1，RS232C（用于Intensilight)x1
镜筒	L2-TTA超大视场正立调倾式三目镜筒（视角0～30°）
	视场数25、光分光100：0/0：100
	L2-TT2A超大视场正立调倾式三目镜筒（俯角0～30°）
	视场数25、光分光100：0/20：80
	LV-T13正立三目镜筒
	视场数25、光分光100：0/0：100
目镜	CFI目镜
物镜	CFI60系列物镜
载物台	14x12载物台、行程354mmx302mm
	（透射观察范围：354mmx268mm）
	带粗/微动切换功能
	微动手轮位置固定
防静电功能	从1000到10V放电时间在0.2秒以内
耗电	1.2A/90W
尺寸	约360(W)x581(H)x951(D)mm（倾斜角度为10°时）