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MX63/MX63L半导体\FPD 检查显微镜

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更新时间：2023-02-21 12:08:01浏览次数：312次

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南京诺旭微光电有限公司

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产品简介

MX63和MX63L显微镜系统特别适合尺寸高达300毫米的晶圆、平板显示器、电路板、以及其他大尺寸样品的高质量检测

详细介绍

MX63和MX63L显微镜系统特别适合尺寸高达300毫米的晶圆、平板显示器、电路板、以及其他大尺寸样品的高质量检测。其采用的模块化设计可让您根据需要选择组件，获得根据应用定制的系统。结合奥林巴斯Stream图像分析软件使用时，从观察到生成报告的整个检测流程更简洁直观。
1、*的分析工具
MX63系列的各种观察功能可生成清晰锐利的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结果提供更多选择。
2、从不可见到可见：MIX观察与图像采集
通过将暗场与明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用，MIX观察技术能够获得特殊的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以观察的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕，有助于观察样品的表面纹理。

3、轻松生成全景图像: 即时MIA
利用多图像拼接(MIA)功能, 用户移动手动载物台上的XY旋钮即可轻松快速完成图像拼接—电动载物台无需进行该操作。奥林巴斯Stream软件利用模式识别生成全景图像，让用户获得更宽的视场。

4、生成全聚焦图像: EFI
奥林巴斯Stream软件的扩展聚焦成像(EFI)功能可采集高度超出景深范围的样品图像。EFI将这些图像堆叠在一起生成单幅全聚焦样品图像。EFI配合手动或电动Z轴载物台使用，可轻松生成结构可视化的高度图像。EFI图像可在奥林巴斯Stream桌面软件内离线生成。

5、利用HDR采集明亮区域和暗光区域
利用*的图像处理技术，高动态范围(HDR)可在图像内调整亮度差异，以减少眩光。HDR改善了数字图像的视觉品质，从而有助于生成具有专业级外观的报告。

6、从基本测量到上等分析
测量对于品质、工艺控制和检测非常重要。基于这一想法，即便是入门级奥林巴斯Stream软件包也包括交互测量功能的全部菜单，并且所有测量结果与图像文件一起保存以便日后调用文档。此外，奥林巴斯Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供直观的工作流界面。点击按钮，图像分析任务即可快速精准完成。可大幅度缩减重复性任务的处理时间，使操作人员的精力集中在检测工作上。

7、高效的报告创建
创建报告所用的时间常常比采集图像和测量还长。奥林巴斯Stream软件提供了直观的报告创建功能，能够根据预先设定的模板多次创建专业复杂的报告。编辑非常简单，报告可导出为MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奥林巴斯Stream报告功能能够对采集的图像进行数码变焦和倍率放大。报告文件大小适中，通过电子邮件进行数据传递更加方便。

8、独立相机选项
利用DP22或DP27显微镜相机的MX63系列是一套*的独立系统。该相机采用几乎不占空间的紧凑型控制盒进行控制，在采集清晰图像以及进行基本测量工作的同时让实验室空间得到充分利用。

9、支持洁净室合规性的*设计
MX63系列专为洁净室工作而设计，并有效降低样品污染或受损的风险。该系统采用人体工学设计，可帮助用户在长时间使用中保持舒适。MX63系列符合SEMI S2/S8、CE和UL等多项国际规范及标准要求。
选配晶圆搬送机 — AL120系统*
选配的晶圆搬送机可安装在MX63系列上，实现无需使用镊子或工具即可安全地将硅片及化合物半导体晶圆从片盒转移到显微镜载物台上。强大的性能和可靠性能够安全、高效地对晶圆正面和背面进行宏观检测，同时搬送机还可帮助提高实验室工作效率。

MX63系统与AL120晶圆搬送机结合使用(200毫米型号)
快速、清洁的检测
MX63系列可实现无污染的晶圆检测。所有电动组件均安装在防护结构壳内，显微镜镜架、镜筒、呼吸防护罩、及其他部件均采用防静电处理。电动物镜转换器的转速比手动物镜转换器更快更安全，缩短检测间隔时间的同时让操作人员的手始终保持在晶圆下方，避免了潜在的污染。

防静电呼吸防护罩电动物镜转换器
系统设计实现高效观察
利用内置离合和XY旋钮，XY载物台能够实现对载物台运动的粗调和微调。即便针对诸如300毫米晶圆这样的大尺寸样品，载物台也可帮助实现高效的观察。倾斜观察镜筒的扩展范围可让操作人员以舒适的姿态坐在显微镜前工作。

带有内置离合的载物台手柄倾斜观察镜筒可确保舒适的工作姿态
接受所有晶圆尺寸
该系统可配合各类150–200毫米和200–300毫米晶圆托架和玻璃台板使用。如果生产线上的晶圆尺寸发生变化，可更改载物台或镜架。有了MX63系列，各种载物台均可用于检测75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圆。

MX63 / MX63L半导体检查显微镜规格：

		MX63	MX63L
光学系统		UIS2光学系统(无限远校正系统)
显微镜镜架	反射光照明 (FN 26.5)	白光LED (带有光强管理器) 12伏100瓦卤素灯, 100瓦汞灯明场/暗场/分光镜组，手动切换。(分光镜为选配件。) 通过手动操作更换3位置分光镜编码内置电动孔径光阑 (针对每个物镜预设, 暗场观察时自动全开) 观察模式: 明场、暗场、微分干涉 (DIC)1, 简单偏振1, 荧光1, 红外1 和MIX观察 (4个定向暗场) *1 选配分光镜, 2 需要MIX观察配置
	透射光照明 (FN 26.5)	需要透射光照明单元MX-TILLA或MX-TILLB。带有聚光器(NA 0.5) 的透射光照明单元和孔径光阑:MX-TILLA 带有聚光器(NA 0.6) 的透射光照明单元和孔径光阑和视场光阑:MX-TILLB 光源:LG-PS2 (12 V, 100 瓦卤素灯) 导光:LG-SF 观察模式: 明场, 简单偏振
	聚焦	行程：32毫米每转行程微调：100微米 *小分度:1微米用于粗调的上限限位器和扭矩调节
	*大负载重量(包括载物台和支架)	8 kg	15 kg
观察筒	宽视场 (FN 22)	正像三目观察筒:U-ETR4 正像倾斜式三目观察筒:U-TTR-2 倒像三目观察筒:U-TR30-2、U-TR30IR (用于红外观察) 倒像双目观察筒:U-BI30-2 倒像倾斜式双目观察筒：U-TBI30
	超宽视场 (FN 26.5)	正像倾斜式三目观察筒：MX-SWETTR (光程切换99% (目镜):0 (相机) 或0:99%) 正像倾斜式三目观察筒:U-SWETTR (光程切换99% (目镜) :0 (相机) 或 20% :80%) 倒像三目观察筒:U-SWTR-3
电动物镜转盘		明场六孔电动转盘，带DIC插槽:U-D6REMC 五孔可调中心电动转盘，带DIC插槽:U-P5REMC 明场和暗场六孔电动转盘，带DIC插槽:U-D6BDREMC 五孔电动转盘，带DIC插槽:U-D5BDREMC 五孔可调中心电动转盘，带DIC插槽:U-P5BDREMC
载物台 (X × Y)		带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC8R 行程:210 x 210毫米透射光照明区域:189 x 189毫米带内置离合驱动的同轴右手柄: MX-SIC6R2 行程:158 x 158毫米 (仅适用于反射光)	带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC1412R2 行程：356 x 305毫米透射光照明区域：356 x 284毫米
重量		约50公斤 (显微镜架37.5公斤)	约64公斤 (显微镜架44公斤)