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东莞市祥兴仪器有限公司
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龙门式大量程支持定制式开发凝聚业界精华VML龙门型，是一款高性能，其行程达2520×2020mm，适用于PCB、LCD等行业的大行程测量
龙门式大量程 支持定制式开发 凝聚业界精华
| 型号 | VML662三次元 | VML962三次元 | VML1292三次元 | VML15122三次元 | |
| 量程(mm) | 620×620×200 | 920×620×200 | 1220×920×200 | 1520×1220×200 | |
| 外部尺寸(mm) | 1320×1020×1680 | 1620×1020×1680 | 1920×1320×1680 | 2220×1620×1680 | |
| 重量(kg) | 700 | 900 | 1200 | 1500 | |
| 承重(kg) | 80 | 80 | 80 | 80 | |
| 精度 | XY轴 | E2=(3.0+L/200)µm | |||
| Z轴 | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
| 重复精度 | XY轴 | <3µm | |||
| Z轴 | <5µm | ||||
| 速度 | XY轴 | 300mm/S | |||
| Z轴 | 100mm/S | ||||
| 光栅尺分辨率 | 1.0µm, 0.5µm, 0.1µm(可选) | ||||
| CCD | SONY 1/2"CCD 黑白/彩色 | ||||
| 光源 | 轮廓光 | LED冷光源，256级亮度可调 | |||
| 表面光 | 6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调 | ||||
| 同轴光 | LED冷光源，256级亮度可调 | ||||
| 光学系统 | Navitar 6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326 | ||||
| 软件 | Vispec测量软件 | ||||
| 运动控制 | 自主的CNC直流伺服系统 | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作环境 | 温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80% | ||||
| 振动<0.002g，低于15Hz | |||||
| 电源 | 90～264VAC，47-63Hz,10Amp | ||||
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