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MEMS氟利昂气体传感器

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更新时间：2024-04-16 14:05:51浏览次数：110次

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威海精讯畅通电子科技有限公司

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产品简介

MEMS氟利昂气体传感器是精讯畅通研发的一款利用MEMS工艺再SI基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料的气体监测设备。具有小巧方便、易于携带、响应速度快、稳定性好、抗震性好等特点。

详细介绍

概述：

MEMS氟利昂气体传感器是精讯畅通研发的一款利用MEMS工艺再SI基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料的气体监测设备。具有小巧方便、易于携带、响应速度快、稳定性好、抗震性好等特点。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

关键词：气体传感器电导率