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全自动椭偏检测机台

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更新时间：2022-10-09 14:59:42浏览次数：110次

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沈阳科晶自动化设备有限公司

经营模式：其他

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产品简介

全自动椭偏检测机台

详细介绍

产品简介：全自动椭偏检测机台作为一种小型椭偏集成机台，通过整体高度模块化，电、气路集成技术，实现不同椭偏测量模块在线/离线式整体椭偏测量解决方案。全自动椭偏检测机台广泛应用于科学研究中各种各向同性，异性薄膜材料的膜厚、光学常数以及一维、二维纳米光栅的结构表征；工业领域新型光电器件行业所涉及的薄膜（配向膜、光刻胶、ITO、发光薄膜、封装薄膜）全片离线化快速扫描测量。

产品型号	全自动椭偏检测机台
主要特点	1、支持实验室研究整体椭偏集成控制测量技术 2、支持产线大基片离线自定义多点扫描测量并输出报告 3、支持多椭偏方案，多组合集成 4、支持测头模块以及样件机台定制化
技术参数	自动化程度	可变/固定角
	应用定位	高阶高精度型	高精度型
	单次测量时间	0.5-5s
	分析光谱	380-1000nm（支持扩展至193-2500nm）
	Mapping行程	支持100x100mm行程扩展
	支持样件尺寸	支持200mm样件