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精密液体气相发生器

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更新时间：2023-03-02 09:17:48浏览次数：221次

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沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品简介

精密液体气相发生器

详细介绍

产品简介：精密液体气相发生器是针对实验室CVD实验中导入液体的系统，其液体流量是通过数字液体泵来控制，流量为80ml/min，精确度为0.005ml。液体被蠕动泵导入到混气系统后，被系统里的加热装置加热成蒸汽，然后随导入的气体被带入到炉管中。本机能够导出多种液体，如ETOH、SnCl₄、 TiCl₄R、SiHCl₃和Zn（C₂H₅）₂，以及多种有机物混合。对于研究用CVD方法生长纳米线和薄膜是的研究设备。

精密液体气相发生器操作视频

产品型号	精密液体气相发生器
主要特点	1、流体和气体在一个316不锈钢罐中加热。 2、采用30段程序化控温。 3、气体流速通过浮子流量计控制。 4、配有压力表，可测出液气混合罐中的气体压强。 5、配有两个不锈钢针阀，以控制气体进出。 6、可与本司所有管式炉和CVD系统相连接。 7、已通过CE认证。
技术参数	1、电源：单相AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率：1000W 3、蠕动泵：精确度±0.02%FS，流量0-80ml/min（可调） 4、工作温度：300℃ 5、控温精度：±1℃ 6、浮子流量计：0-2000ml/min（可调） 7、出气口：外径1/4″
产品规格	尺寸：350mm×335mm×300mm；重量：5kg
可选配件	加热带（缠绕在外接的管道上，以保证液体蒸汽在传输过程中不会液化。）