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SKJ-50晶体生长炉

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更新时间：2023-05-07 08:06:12浏览次数：143次

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沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品简介

SKJ-50晶体生长炉

详细介绍

产品简介：SKJ-50晶体生长炉是用提拉法生长高质量氧化物单晶及金属单晶，如蓝宝石、GGG、YAG、SrLaAlO₄、LaAlO₃、Si、Ge等，可长出晶体尺寸达3" 。

产品型号	SKJ-50晶体生长炉
安装条件	本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） 2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头） 4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通风装置：需要
主要特点	1、与同类相比属于小型晶体生长炉，适合于大专院校、研究所使用。 2、电子称在生长过程中可自动控制晶体的直径。
技术参数	1、电源：三相380V 25KW 2、感应射频：功率25KW，射频0.2KHz-20KHz 3、真空腔体：Ø500mm×700mm 4、真空度：10^-3torr（机械泵），10^-5torr（扩散泵） 5、提拉行程：500mm 6、提拉速度：0.1mm/h-20mm/h 7、籽晶杆旋转速度：0-40rpm 8、可熔融温度：2100℃ 9、控温精度：<±0.2℃ 10、冷却水：所需水压0.13MPa-0.18MPa，所需流量60L/min 11、移动速度：1mm/h-10mm/h可调 12、快速移动：手动 13、结晶转速：1rpm-50rpm 14、真空系统：机械泵和扩散泵 15、极限真空度：10^-5torr
产品规格	1、炉体：880mm×1250mm×2850mm 2、控制柜：680mm×540mm×1700mm 3、中频柜：1100mm×500mm×1500mm 4、总重：1500kg