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SP-MSM-4CZ四电弧提拉法单晶生长炉

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更新时间：2023-05-07 08:12:23浏览次数：163次

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沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品简介

SP-MSM-4CZ四电弧提拉法单晶生长炉

详细介绍

产品简介：SP-MSM-4CZ四电弧提拉法单晶生长炉是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉（采用Ar气电弧对样品熔融，提拉装置提拉），其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体（带有水冷夹层），真空度可达10-5Torr.此款单晶炉特别适合生长高熔点的单晶，如Ti单晶，YSZ，SiC和CeRh2Si等等。

产品名称	SP-MSM-4CZ四电弧提拉法单晶生长炉
技术参数	腔体	1、采用304不锈钢腔体，带有水冷夹层，可通入冷却水 2、腔体上安装有石英窗口，以便观察样品 3、腔体真空度：10-5Torr（采用分子泵） 4、腔体尺寸：Φ257*360mm
	真空计	1、腔体上安装有数显防腐真空计和机械压力表
	电弧枪	1、共有4个电弧枪，可让样品得到均匀的温场（电弧枪都带有冷却水） 2、钨电极直径为Φ4mm 3、电弧腔体对样品的角度和距离可手动调节 4、起弧电源： 18 V / 185 A 电压380V 5、熔炼温度可达3000℃
	样品台	1、采用水冷铜坩埚 2、可投如样品量为60g(按铁计算)
	提拉机构	1、控制器控制提拉机构的提拉速度，转速和转速 2、提拉速度：0.2-10mm/h 3、提拉行程：0-70mm 4、转速：0-40RPM
	控制单元	1、可显示和设置单晶生长的参数（起弧电流，提拉杆转速，提拉行程和转速）
	真空泵	1、设备中配有一分子泵系统（机械泵+涡旋分子泵） 2、抽气速率：100L/S 3、可使设备腔体的真空度达到10-5Torr(40分钟内)
	循环水冷机	1、功率：800W 2、水流速度：58L/min 3、制冷能力：5004W（17500Btu/hour） 4、温度控制：5~30°C
产品规格	设备尺寸：800mm（L）800mm（W）1500mm(H)