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沈阳科晶自动化设备有限公司
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2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC
产品简介：2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC是一款较大型高温感应加热、熔炼炉系统，配备30KW感应加热器、8.5"（216mm）石英管、铰接式法兰及阀门、石墨坩埚、石墨毯、氧化铝保温毯、16L/min循环冷水机、真空泵和移动炉架，温度可以达到2000℃（使用时石英管内需通入保护性气体），是生长晶体、金属熔炼和各种材料的热处理的选择。
2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC操作视频
| 产品型号 | 2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） 2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头） 4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通风装置：需要 |
| 主要特点 | 1、采用多块氧化铝制作的耐火材料，用于支撑石墨坩埚，并防止热量辐射。 2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。 3、温控器采用PID方式控温，可设置30段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。 4、配有防腐型真空计，当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类的不同进行系数转换，量程可到3.8×10E-5 torr。 5、迷你型浮子流量计精度为4%。 6、配有双级旋片机械泵（2L/s），可使石英管内真空度达到10E-2torr。 |
| 技术参数 | 感应加热器 1、工作电压：三相AC 380V 50Hz（需60A空气开关） 2、工作电流：7Amps-70Amps（需100A空气开关） 3、功率：振荡功率30KW，输入功率15KW 4、输出频率：30KHz-110KHz 5、占空比：80% 6、感应线圈：内径Ø220 mm，高65 mm 7、空气冷却：后风扇 |
| 温度控制器及热电偶 1、工作电压：AC208V-240V 单相 2、控温精度：±3℃ 3、热电偶：C型，外径Ø1/4"，长10" 4、连续工作温度范围：1000℃-2000℃ 5、升温速率：4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃） | |
| 石墨坩埚（易耗件） 1、高纯石墨坩埚：外径Ø114mm，内径Ø100mm，高142mm 2、容量：样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2，质量为4kg（以铁标定） 3、保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从内至外分别为石墨毡（可耐温2200℃）-氧化铝（可耐温1700℃）-高 温毡，总厚度为32mm | |
| 石英管和密封法兰 1、石英管：两端开口，外径Ø216mm，内径Ø208mm，长500mm 2、顶部法兰：采用不锈钢折叠式法兰，装有防腐型真空计、不锈钢截止阀，设有1个1/4"的铠装接口（可插入热电 偶至石英管内部，更准确地测量样品温度） 3、底部法兰：设有KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接 | |
| 水冷机 1、温度：5℃-30℃ 2、水流速：>16L/min 3、水箱容积：12L，采用不锈钢制作 4、水压：≥0.1MPa 5、流量：≥5L/min （建议使用特定的冷却剂液以达到的冷却效果） | |
| 真空泵 工作电压：AC208V-240V单相 | |
| 移动炉架 尺寸：700mm×1000mm×700mm，钢框架结构，方便移动感应加热器和带法兰的石英管 | |
| 产品规格 |  |
| 注意事项 | 操作前，必须仔细阅读说明书，且操作人员需带防护面罩。使用时，熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行，流 量小于200ml/min，需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压，若气压超过安 全值，会引起石英管开裂、法兰蹦出，甚至造成人身伤害。 |
| 其他事项 | 本机可改为RTP（快速热处理炉）和混合物物理化学气相沉积（HPCVD）系统。请参看下图。 |
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