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深圳市浩源光电技术有限公司
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•脉冲能量到800mJ•采用磁助器激励回路设计，延长闸流管寿命•内置能量反馈系统，能量稳定性好•内部触发/外部触发
产品特点：
•脉冲能量到800mJ
•采用磁助器激励回路设计，延长闸流管寿命
•内置能量反馈系统，能量稳定性好
•内部触发/外部触发
应用：激光沉积薄膜、精细加工、材料表面处理、激光退火
规格:
PLD30/PLD20：1500×450×880mm PLD20L：1600×405×880mm (230kg）
技术参数 | |||||
介质气体 | ArF | KrF | XeCl | XeF | |
波长(nm) | 193 | 248 | 308 | 351 | |
单脉冲能量(mJ) | PLD30 | 200 | 500 | 300 | 200 |
PLD20 | 300 | 650 | 400 | 300 | |
PLD20L | 400 | 800 | 500 | 400 | |
平均功率(W) | PLD30 | 5 | 14 | 8 | 5 |
PLD20 | 5 | 12 | 8 | 5 | |
PLD20L | 7 | 14 | 9 | 7 | |
重复频率(Hz) | PLD30 | 30 | |||
PLD20 | 20 | ||||
PLD20L | 20 | ||||
脉冲宽度(FWHM, ns) | PLD30 | ～25 | |||
PLD20 | |||||
PLD20L | |||||
光斑尺寸(mm)(V*H) | PLD30 | ～24×8 | |||
PLD20 | |||||
PLD20L | |||||
能量稳定性（sigma,% ） | 1 （248nm输出时测量） | ||||
发散角(mrad)(V*H) | ~3×1 | ||||
冷却方式 | 水冷 | ||||
交互方式 | 控制系统：RS232（液晶屏/PC） | ||||
外部触发：光信号 | |||||
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