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Diener 等离子表面处理仪 Tetra45

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更新时间：2022-10-13 12:34:12浏览次数：156次

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上海尔迪仪器科技有限公司

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产品简介

技术应用链接:特点：·便捷的触摸屏操作界面·数字及图标多重工艺参数实时显示方式·异常报警功能·自动/手动操作模式可切换·储存多套工艺程序·远程操控

详细介绍

技术应用链接:

· 便捷的触摸屏操作界面

· 数字及图标多重工艺参数实时显示方式

· 异常报警功能

· 自动/手动操作模式可切换

· 储存多套工艺程序

· 远程操控，数据导出

· 模块多样化选择，处理量大

型号		Tetra 45
控制系统	控制方式	全自动控制（自动/手动切换）
	控制方式	BASIC PC	FULL PC
	操作系统	Windows CE	Windows 10
	触摸屏	3.5/7"	15"
工艺气体		O2 Ar N2 Air SF6 CF4等
工艺气路		1-3（可选）	1-10（可选）
流量计		MFC /防腐型MFC
真空腔体	材质	不锈钢/铝合金
	尺寸WDH（mm)	572x650(1500)*^1**x120
	容积(L)	45~100L
电极	材质	铝/不锈钢电极
电极	层数	1层
发生器		40kHz 0-1500W 80kHz 0-1000W 0-3000W 13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W 2.45GHz 0-1200W
真空压力计（mba)		皮拉尼传感器（0-9.99)
托盘	不锈钢/铝	实心板/镂空板
托盘	层数	1-2（可选）
外形尺寸WDH（mm)		600x850（1600）x1700(2100)
电源		AC400 V / 16 A
真空泵抽气速度		根据工艺选择
选配件		单体导入模块（亲疏水涂层）、远程控制系统、防腐系统、气浴、托盘/腔体冷却系统、加热模块、石英舟、干泵