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上海精密仪器仪表有限公司
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GSL-1100系列.OTF系列三温(1200-1700℃) 管式炉(三温区)
GSL-1100X-8.5-III 1100℃三温区8.5"管式炉
GSL-1100X-III 是一款CE认证的三温区大尺寸系列的管式炉,其石英管管径为 8.5" O.D,。在加热管一端安装有一对高真空不锈钢法兰,法兰上安装有机械压力表和阀门,三个温区都是采用30段可编程PID数字温度控制器进行温度控制,控温精度 ± 1 ºC,它被广泛的用于材料或化学实验室材料的烧结或是退火(在真空或是惰性气体的保护环境下),它是一款理想的退火,扩散,和烧结设备
技术参数
石英管尺寸 | 216 O.D x 206 I.D x 1300mm Length (8.5" O.D - 8.1" I.D x 51" L) , |
仪器中包含一根石英管, | |
内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
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壳体结构 | 双层壳体结构,并带有冷却风扇. 使得壳体的表面温度 < 70℃. |
耐火材料采用高纯氧化铝,可以减少热量的损失. | |
加热元件: NiCrAl 电阻丝 | |
为了防止热量以热辐射的形式散失,仪器配有两套氧化铝管堵(在加热前必须把管堵放入炉管内. | |
为了获得更高的洁净度和真空度,可以选择石英管堵(可选配件) | |
加热区 | 总加热区长度: 900 mm (36") |
三个温区: 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone) | |
恒温区长度: 500 mm (三个温区可设置相同的温度) | |
工作温度 | 工作温度 1100℃ |
正常工作温度: 400~1100℃ | |
加热/冷却速率: 20℃/min | |
控温系统 | 三个PID自动控制器,可设置30段升降温程序 |
热电偶:3根K型 在每个温区 | |
控温精度: ± 1℃ | |
真空密封法兰 | 一副不锈钢真空密封法兰(铰链式),密封法兰采用硅胶密封圈进行密封, 通过机械泵,真空度可以达到10^-2 torr |
左侧: 真空计, 不锈钢针阀 和1/4" 软管接头. | |
右边: KF25 接口,方便连接KF25型波纹管和真空泵 | |
额定电压 | 单相, 220V AC, 50/60 Hz |
包括AWG 8#电源线 (without plug) | |
功率 | 10KW (需50A的空气开关 ) |
外形尺寸 | 1200 L x 660 W x 750 H mm (48" L x 26"W x 30" H) |
净重 | 200kg |
运输尺寸 | 70" x 70" x 65" |
运输重量 | 500Lbs (227kg) |
OTF-1200X-III-D5-4 1200℃双管三温区管式炉
OTF-1200X-5-III-D4 是一款三温区的双管炉,其工作温度可以达到1200℃,专门针对于用CVD方法在金属箔上生长薄膜物质,如石墨烯、太阳能电池的电极材料和电池电极材料等。
产品特点
·石英炉管: 外管直径为 130 mm(5"),内管直径为101 mm(4"),使用时把金属箔附在内管上
·特殊的真空法兰可以使反应气体通过两管之间冷却气体可以从内管通过,对基底进行快速冷却
·工作温度: 1200℃
技术参数
炉体结构 | 三个加热温区总长: 900mm(36") |
温区 1: 229mm (9") | |
温区2: 457mm (18.0") | |
温区3: 229 mm (9") | |
恒温区:625mm(三个温区设置同样的温度) | |
恒温精度: ± 1℃ | |
三个温区采用PID30段程序化独立控制 | |
控温精度: ± 1° C | |
工作温度:1200℃ | |
连续使用温度:1100℃ | |
推荐升温速率: <= 20℃ /min | |
炉膛 | 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长炉膛的使用寿命 |
电源 | AC 208-240V 单相, 50/60 Hz (需要40A 的空气开关 ). |
功率:7 KW | |
炉管 | 炉管为高纯石英管 |
外管尺寸:130mm O.D. x 122 mm I.D. x 1480 mm | |
内管尺寸: 102mm O.D. x 94 mm I.D. x 1540 mm | |
炉体尺寸 | 1030 x 430 x 580 mm |
净重 | 90 kg |
OTF-1500X-III 1500℃三温区开启式管式炉
OTF-1500X-III是一款三温区开启式管式炉,三个温区分别用三个独立的温控系统控制,每个温区都可以设置30段升降温程序,并带有断偶和过热保护,控温精度高达± 1℃,仪器温度可以达到1500℃。此高温管式炉特别适合于在气氛保护或真空的环境下对样品进行退火和烧结,另外此款管式炉还可做成1600度。
技术参数
功率 | 6.6K W |
工作电压 | AC220V 单相 50/60Hz ( 需要50 A 的空气开关) |
工作温度 | 1500℃ |
连续工作温度 | 1400℃ |
建议升温速率 | 5℃/min. |
炉管 | 材质:刚玉管 |
尺寸: 80 O.D x 71 I.D x 1200mm L | |
加热区长度 | 共三个温区,每个温区长度为200mm |
总温区长度:600mm | |
恒温区长度:350 ± 2ºC.(三个温区设置同样的温度) | |
外型尺寸 | 860 mmL × 380 mmW × 680 mmH |
温控系统 | 三个温区分别用三个独立的温控系统来控制 |
采用PID方式调节温度,每个温区可以设置30段升降温程序 | |
带有过热和断偶保护 | |
控温精度:± 1 ºC | |
为了将控温程序和温度曲线导入到电脑中,可以选购PC控温软件 | |
真空度 | 10E-2 torr(用机械泵) |
10-5 tor(用分子泵) | |
加热元件 | 12 pcs 1500ºC grade Silicon carbide rod |
仪器中安装有24根硅碳棒 (直径 14 mm. x 热端长度150mm x 总长度350mm) | |
3 pcs S type thermal couple built in | |
3个S型热电偶 | |
净重 | 110 Kg |
外形尺寸 | 860 mmL × 380 mmW × 680 mmH |
GSL-1700X-60-III 1700℃三温区管式炉
GSL-1700X-60-III是一款CE认证的三温区高温管式炉,其炉管外径为 60mm ,每个加热区的长度为12" ,三个数字温度控制器可独立控制温度,并可设置30段升降温程序,温区1(加热区中心)采用Super-800级的硅钼棒进行加热,当温度达到 1700℃时,另外两个温区用硅碳棒进行加热,当温度在1400℃时,此款管式炉可以形成一个温度梯度,调整三个温区的温度,在热梯度下制备功能材料,他是一款理想的设备,同时也适用于CVD法制作薄膜外延生长。
技术参数
壳体结构 | 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体的表面温度小于60度 |
炉膛的保温材料采用高纯氧化铝,环保节能,可以减少热量的损失 | |
内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
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功率 | 9 KW (需要75A空气开关 ) |
电压 | AC 220-240 单相, 50/60 Hz |
加热区长度 | 三个温区:总温区长度 25" (630 mm) heating zone (included two refractory separators) |
温区1: 7.5" (190 mm)由4根U型硅碳棒SiC 进行加热 | |
工作温度 800 - 1400℃ | |
升温速率: 20℃/min | |
温区 2: 10" (250 mm) 由 根6 U型硅钼棒MoSi2 进行加热 | |
工作温度 800 - 1700℃ | |
升温速率: 10℃/min | |
温区3: 7.5" (190 mm) 由 4 根 U 型硅碳棒SiC进行加热 | |
工作温度 800 - 1400℃ | |
升温速率: 20℃/min | |
炉管尺寸和法兰 | 99.8%高纯氧化铝管 |
2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Lengt | |
包括60mm不锈钢真空密封法兰,仪表和针阀 | |
Two porous ceramic blocks are included for protecting flange from heating radiation | |
法兰连接口 | 为了得到较好的真空状态出气端法兰上可以选择KF25的转接头与波纹管相连接 |
为了保证进气的气密性,进气端法兰上可以选定Φ6.35的不锈钢卡套接头,与聚四氟乙烯软管相连接,VCR Face Seal Fitting | |
可选;本公司生产的铰链式法兰和进口的防腐型数字式真空计
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温控系统 | 三个数字温度控制器采用PID方式控制,并且控温仪表中可以设置30段升降温程序,每个温区可以独立控温 |
带有过热和断偶保护功能 | |
控温精度 ± 1ºC | |
热电偶: B type (one), S type (two) | |
外形尺寸 | 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
净重 | 150 kg |
GSL-1700X-60-III-F3LV 带3路浮子混气三温区1700℃管式炉
GSL-1700X-60-III-F3LV是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统,其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵,混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃,真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。
技术参数
炉体结构 | 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃ |
炉膛材料采用高纯氧化铝纤维,减少能量损失 | |
内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长炉膛的使用寿命 | |
三个温区分别被三个独立的温控系统控制 | |
功率 | 9 KW(需要75A的空气开关 ) |
电压 | AC 208-240V 单相, 50/60 Hz |
加热区 | 总加热区长度:25" (630 mm) |
加热温区1长度:7.5" (190 mm) 1400℃ 通过4根硅碳棒加热,温度可达1400℃ | |
升温速率: 10℃/min | |
加热温区2长度:10" (250 mm)1700℃ 通6根硅钼棒加热,温度可达1700℃ | |
升温速率:5℃/min | |
加热温区3长度:7.5" (190 mm) 1400℃ 通过4根硅碳棒加热,温度可达1400℃ | |
升温速率:10℃/min | |
炉管和法兰尺寸 | 99.8%高纯刚玉管 purity Alumina Tube |
尺寸:2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Length | |
一对60mm的不锈钢密封法兰,法兰上已安装阀门和仪表 | |
仪器中包括4个氧化铝管堵 | |
温控系统 | 3个温控系统,都是PID30段程序化控温 |
控温精确度 | ±1℃ |
低真空系统 | 采用TRP-12的双旋机械泵,其针对于本公司的管式炉,真空度可达到 10-2 Torr. |
一个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上,其尺寸为 25mm Dia x 1000mm length ,可于管式炉上的法兰相连接 | |
数字式真空显示计 | CE认证的皮拉尼式数显真空计,带有LED数字式显示,其量程为10-4 to 1000 Torr. |
三路浮子混气系统 | 3个浮子流量计(精确度4%FS)安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。 |
路气体流量范围为10-100 cc/min. | |
第二路气体流量范围为16-160 cc/min. | |
第三路气体流量范围为25-250 cc/min. | |
一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接 | |
移动架上安装有4个不锈钢针阀 | |
尺寸 | 高温炉: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
GSL-1100X-8.5-SR-III 1100℃三温区带滑轨8.5"管式炉
GSL-1100X-8.5-SR-III是一款CE认证的三温区滑轨炉,其炉管外径为 8.5" O.D的滑轨真空管式炉,multi-gas fedthrough SS tube for LPCVD processing,它可以在6“的基片上生长多种薄膜(在不同气氛下). 它温度 1100℃,采用30段可编程PID数字温度控制器,可以设置30段升降温程序,控温精度±1℃。
技术参数
壳体结构 | 双层壳体,循环风冷. |
炉体表面温度< 70 ºC | |
采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能 | |
滑轨式法兰结构,方便放取样品 | |
三个加热区实现更长的温度区和一个特定的温度梯度 | |
内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命 | |
输入电压 | 220VAC 单相 |
功率 | 8kW |
石英管尺寸 | 8.5" O.D x 8.2" I.Dx 51" Length |
仪器中包含一根石英管,以下尺寸可以作为选用,(点击查看详细资料) | |
加热元件 | NiCrAl 电阻丝 |
工作温度 | 工作温度: 1100℃ |
连续工作温度: 400 -1000℃ | |
加热冷却速率: 10℃/min | |
加热区 | 总加热区长度:900 mm (36") |
三个温区: 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone) | |
恒温区: 500 mm (三个温区可以设置同样的温度) | |
温度控制器 | 三个温度控制器,采用 PID 方式,通过可控硅来进行温度控制,可以设置30段升降温程序 |
设有一个额外的温度校准检测系统 | |
双K型热电偶 安装在仪器里 | |
控温精度: ±1℃ | |
软件接口模块和PC机不在标配内需额外订购 | |
密封法兰和进气接口 | 不锈钢真空密封法兰双硅胶密封圈密封真空度可达到 (机械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr). 真空泵不包含在内 |
右端法兰上设有一个铠装热偶检测口和KF25真空接口. 标配内包括KF25真空挡板阀和1.2 米 KF-40 不锈钢波纹管. ( 如需对炉膛温度进行校准请订购36" 长 x 1/4"dia K 型热电偶) | |
包括一个石英管堵,设备使用时右端必须安装管堵阻止热的辐射 | |
左侧法兰安装在可移动的滑轨机构上. 法兰上设有五路进气接口每个进气口采用精密不锈钢针阀密封. | |
左端密封法兰上装有4片磨砂石英挡片用于阻止热辐射. P建议采用水冷机组,为了美好的未来,请节约每一滴用水
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产品尺寸 | 炉体: 1000L x 700 W x 1060 H mm |
滑轨长度: 600mm L | |
注意: 你必须把炉体和滑动机构放置在同一基准面上。 | |
净重 | 354Kg |
包装尺寸 | 70" x 70" x 65" |
运输重量 | 354Kg |
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