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深圳市科晶智达科技有限公司
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简要描述：小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术，采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵，清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，可短时间内清洗掉有机污染物，清洗程度可达到分子级。另外，其样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。此外，其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
| 功能特点 |
|---|
| 技术参数 | |
|---|---|
| 电压 | AC220V 10A |
| 消耗功率 | <500W（包括真空泵） |
| RF电源 | 输出功率100W，输出频率13.56MHz |
| 腔体 | Φ190mm×98mm |
| 细节图 | |
| 石英管 | Φ180mm×55mm，壁厚7mm |
| 内腔 | Φ165mm×55mm |
| 清洗电极 | Φ120mm |
| 样品台 | Φ150mm，有效尺寸Φ140mm |
| 样品台与电极间距 | 15mm-50mm可调 |
| 抽气管 | Φ12mm |
| 极限真空度 | 0.1Pa |
| 工作真空度 | 60Pa-500Pa |
| 气路数量 | 2路（选装） |
| 流量控制器数量 | 1、2 |
| 流量显示仪 | 2通道 |
| 气路接口 | Φ6mm |
| 加热样品台 | Φ140mm，加热样品温度RT-600℃±1℃（选装） |
| 冷却水压力 | 0.2KPa-0.4KPa |
| 工作环境 | 温度5℃-35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m |
| 尺寸 | 245mm×235mm×460mm（不含真空泵） |
| 重量 | 20kg（不含真空泵） |
| 可选配置 | ● 加热样品台 ● 流量控制器（量程10、50、100，多可增加2个通道） |
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