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深圳市科晶智达科技有限公司
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温控型感应加热/熔炼系统，带进料前级系统和熔炼搅拌装置
温控型感应加热/熔炼系统，带进料前级系统和熔炼搅拌装置。石英前级腔室可将各种原材料导入到熔炼坩埚内，而不影响主腔室的环境。
| 性能指标和基本配置 | ||
|---|---|---|
| 型号 | SP-50KT | SP-85KTC |
| 感应电源 | ● 工作电压：380V，50Hz，三相 | |
| 温控系统和热电偶 | ● 精密数显温控系统，采用PID调节方式 | |
| 石墨坩埚，耐火材料和防护罩 | | |
| ● ·高纯石墨坩埚:50mm(内径) * 40mm(外径) *110mm（深）,坩埚是用来感应加热和熔化金属 | ● 高纯石墨坩埚:114mm（内径） * 100mm（外径） *142mm（深），坩埚是用来感应加热和熔化金属 | |
| ● 容量：样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2 | ● 容量：样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2 | |
| ● 可熔炼物料的质量：最多0.6Kg（按纯铁的密度计算） | ● 可熔炼物料的质量：最多4Kg（按纯铁的密度计算） | |
| ● 可选:为对晶片热处理，可定制石墨样品台，可放置晶片尺寸为1.5''O.D * 1/8''T，因为石墨导热率非常高，所以可使放置的晶片受热均匀 | ||
| ● 保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡，总厚度为32mm，石墨保温毯（可耐温2200℃）氧化铝毯（耐温1700℃） | ● 保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡，总厚度为32mm，石墨保温毯（可耐温2200℃）氧化铝毯（耐温1700℃） | |
| ● 注意: 石墨坩埚是易耗件 | ● 注意: 石墨坩埚是易耗件 | |
| 密封法兰和石英腔体 | | |
| ● 两端开口的石英管尺寸：130mm(OD) * 122mm(ID) * 360mm(L) | ● 两端开口的石英管尺寸： 216 mm(OD) * 208 mm(ID) * 500mm(L) | |
| ● 顶部法兰: 采用不锈钢铰链法兰，带有一1/4"的铠装接口（可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度）法兰上安装有不锈钢截止阀 | ● 顶部法兰:采用不锈钢折叠式法兰，带有一1/4"的铠装接口（可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度）法兰上安装有不锈钢截止阀 | |
| ● 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接 | ● 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接 | |
| ● 仪器中配有KF25挡板阀和KF25的波纹管，以便与真空泵相连接 | ● 仪器中配有KF25挡板阀和KF25的波纹管，以便与真空泵相连接    | |
| 真空计 | ● 防腐真空计,测量范围3.8*10E-5托 | |
| 浮子流量计 | 紧凑型直读浮子流量计，100-1000scc/min。精度:4%。 | |
| 泄压阀 | 为了安全考虑，在腔体内安装泄压阀，当压力大于0.02MPa时，阀门会自动释放压力，保证安全。 | |
| 循环水冷机（选配） | ● 温度范围：5～30℃ | |
| 真空泵（选配） | ● 标配一个2.2L/s的双级旋叶片真空泵 | |
| 产品尺寸 | 整体机器外形尺寸：700（L）* 1300（W）* 1200（H） | |
| 净重 | 100Kg | |
| 应用 | ● PVT(物理蒸气运输)系统通过改变一个合适的坩埚，使其能够成为生长长型碳化硅晶体，请点击下面的图片或问我们的工程师如何 | |
| 注意事项 | ● 为了保护石墨坩埚和C热电偶，在整个实验过程必须在流动惰性气氛环境中进行。气体流量应限制在< 200SCCM | |
| 认证 | 如果客户需要通过MET认证，需自行支付认证费用，具体价格请联系我们的销售代表 | |
| 保修期 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 | |
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