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高精度激光测振仪是采用迈克尔逊干涉仪技术的激光纳米测振仪和微量振动测量仪,单点测量分辨率高达亚pm,成像模式分辨率高达0.1nm,扫描分辨率高达1nm,还能给出1Hz至2.5MHz的FFT频谱和2.5MHz以下的弯曲振动模态bendingmodes
高精度激光测振仪是采用迈克尔逊干涉仪技术的激光纳米测振仪和微量振动测量仪,单点测量分辨率高达亚pm,成像模式分辨率高达0.1nm,扫描分辨率高达1nm,还能给出1Hz至2.5MHz的FFT频谱和2.5MHz以下的弯曲振动模态bending modes。
高精度激光测振仪全面满足日益苛刻的研发和品质控制需要和对MEMS微机电系统的需求,通过在样品上用迈克尔逊干涉仪的聚焦激光束进行光栅扫描来实现,对微量振动进行百万像素微观结构振动成像,测量显微图像中每个像素的振动。
高精度激光测振仪配有压电式样品振动器和数字锁定放大器,用于测量振动的振幅和相位,从中可以重建2.5MHz以下的弯曲模态bending modes。
高精度激光测振仪特色:
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