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显影机

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产品型号DE200

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厂商性质其他

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更新时间：2023-06-13 18:19:10浏览次数：131次

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上海添时科学仪器有限公司

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产品简介

显影机适用于8英寸及以下晶圆的匀胶工艺可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体全自动显影摆臂,可实现显影液、去离子水、氮气的自动喷洒及吹干根据工艺要求可选择柱形、扇形显影喷嘴高精度伺服控制系统,性能稳定升降式显影腔体,可有效防止显影液体的飞溅根据工艺需求可选配显影液控温、FFU等功能

详细介绍

显影机

显影是指用还原剂把软片或印版上经过曝光形成的潜影显现出来的过程。PS版的显影则是在印版图文显现出来的同时，获得满足印刷要求的印刷版面和版面性能。显影机是将晒制好的印版通过半自动和全自动的程序将显影、冲洗、涂胶、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷处理设备。

产品介绍

适用于8英寸及以下晶圆的匀胶工艺
可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体
全自动显影摆臂,可实现显影液、去离子水、氮气的自动喷洒及吹干
根据工艺要求可选择柱形、扇形显影喷嘴
高精度伺服控制系统,性能稳定
升降式显影腔体,可有效防止显影液体的飞溅
根据工艺需求可选配显影液控温、FFU等功能

产品参数

旋转速度范围：20-5000rpm
加速度范围：20-20000rpm/s
转速精度:±1rpm
显影喷嘴数量：≤3路
显影工艺配方：≤ 100组(每组≤ 100步)
设备尺寸：1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)

关键词：显影机伺服控制

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